Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9362764 à vendre en France

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ID: 9362764
Particle inspection system.
KLA/TENCOR SP1-TBI (Surface Performance 1 : Translating Beam Inspection) est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes développé par KLA Corporation. Il est conçu pour inspecter les performances des masques et des matrices de plaquettes utilisés dans la production de semi-conducteurs. KLA SP1T-BI utilise un équipement d'imagerie par faisceau traduisant pour fournir une inspection de terrain complète de haute précision en temps réel. Le système est composé d'étages de balayage x-y-z et d'un bloc optique à deux lentilles qui lui permet de capturer des images de surface du masque ou de la plaquette pendant l'inspection. La machine optique est construite à l'aide de lentilles achromatiques, la lentille supérieure fournissant une capture d'image plus haute résolution tandis que la lentille inférieure maintient une vue grand angle. Fonctionnant sur du matériel d'analyse d'images vidéo à faible coût, l'outil offre des capacités d'inspection et de numérisation à grande vitesse. TENCOR SP1 TBI est équipé de matériel sophistiqué d'éclairage/détecteur et permet à la fois le contact et l'inspection sans contact. Il utilise le balayage Push-Broom pour la reconnaissance parallèle du faisceau et les caméras CCD pour la capture, le traitement et l'analyse des images. Grâce à l'imagerie High Dynamic Range intégrée, l'actif peut détecter et mesurer presque tous les types de variations de motifs à la surface du masque ou de la plaquette et produit des rapports de performance riches en données. SP1T-BI soutient également l'examen des défauts sur place et offre de meilleures capacités d'inspection des modèles. Il permet l'inspection à l'aide de diverses techniques d'imagerie, telles que la reconnaissance optique des caractères (OCR), le traitement d'image laser (LIP), la moire, la micro-inspection, l'amélioration des bords et l'imagerie de contraste. En outre, KLA/TENCOR SP1 TBI est un modèle très fiable. Les algorithmes d'inspection avancés et la technique d'éclairage multiple permettent de s'assurer que l'inspection donne des résultats complets et précis. L'équipement fournit également une interface utilisateur sûre et utilise une combinaison de capteurs dédiés et de robotique pour assurer un entretien et un fonctionnement sûrs. Avec ses excellentes performances et ses caractéristiques fiables, KLA/TENCOR SP1T-BI est un outil idéal pour l'inspection et le développement de processus de masques et de plaquettes. C'est un système haut de gamme puissant qui offre flexibilité, précision et intégrité fiable des données.
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