Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9401034 à vendre en France

KLA / TENCOR SP1-TBI
ID: 9401034
Taille de la plaquette: 8"
Inspection system, 8".
KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour inspecter et détecter les défauts sur les plaquettes préétablies, les masques Step and Repeat (Stencil) et les photomasques. Il utilise des capacités optiques sophistiquées, d'absorption et de reconnaissance de motifs pour obtenir une sensibilité et une précision d'inspection extrêmement élevées. Le cœur du système KLA SP1T-BI est une plate-forme logicielle et matérielle intégrée optimisée pour inspecter rapidement et de manière fiable les surfaces des plaquettes et des masques à motifs. Il inclut l'appareil photo d'inspection SP1-C de 5 mégapixels, qui emploie la technologie optique avancée pour capturer des images exposées en détail des deux défauts et de surfaces parfaites. La technologie optique SP1-C offre une sensibilité et une précision supérieures pour la détection de caractéristiques aussi petites que 0,3 μ m. Il dispose également d'une vitesse d'acquisition d'image élevée, permettant une inspection rapide des échantillons. L'unité utilise également une gamme de composants logiciels d'inspection et de processeurs puissants pour répondre aux défis posés par les exigences avancées en matière de contrôle des processus. En particulier, le logiciel Mask Plane Rating est conçu pour la détection et la mesure fiables des largeurs de lignes, des espaces et d'autres caractéristiques de bord, ce qui le rend idéal pour identifier les erreurs de non-uniformité dans les masques et les plaquettes. Le logiciel d'imagerie de la machine TBI TENCOR SP1 fournit également une entrée unique aux outils de révision automatisée des défauts, permettant un examen rapide et efficace des emplacements des défauts, des tests de confirmation automatique et de la classification automatisée des défauts. En outre, l'outil comprend des algorithmes d'optimisation avancés qui lui permettent d'identifier rapidement les domaines d'intérêt et de prioriser ces domaines pour une inspection intensive. SP1 TBI actif est compatible avec une variété d'options de configuration flexible et d'outils périphériques, tels que le logiciel AutoZone, qui assure un alignement et une configuration facile du modèle. En outre, l'équipement offre la possibilité de générer des retours en temps réel pour les ingénieurs de fabrication et de traitement des masques et des plaquettes, permettant une évaluation rapide des processus et des solutions pratiques de co-conception. En conclusion, SP1T-BI système automatisé d'inspection des masques et des plaquettes offre une gamme impressionnante de capacités avancées, une précision améliorée et une évaluation rapide du contrôle des processus, ce qui en fait le choix idéal pour l'inspection et la détection des plaquettes et des masques.
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