Occasion KLA / TENCOR SP1 #9000064 à vendre en France
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Vendu
ID: 9000064
Taille de la plaquette: 12"
Unpatterned bright field inspection system, 12".
KLA/TENCOR SP1 est un équipement de haute performance, de masque automatisé et d'inspection des plaquettes conçu pour répondre aux exigences strictes des fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Le système utilise la conception optique avancée, le traitement numérique des images et l'analyse avancée des signaux pour détecter les défauts sur les surfaces des masques et des plaquettes. KLA SP1 inspecte les masques et les substrats jusqu'à 25 mm x 25 mm avec une précision de 0,05 µm. Il utilise un éclairage LED multi-longueurs d'onde avec angle oblique variable à chaque point d'inspection, fournissant une résolution uniforme sur tout le champ de vision. L'unité fournit également une fonctionnalité avancée de conditionnement du signal et d'analyse du signal qui permet de détecter les défauts critiques. TENCOR SP 1 intègre une machine avancée de balayage à double vue qui permet l'inspection des deux surfaces des plaquettes. Ceci combiné à une technique de filtrage avancée et à l'analyse du signal, permet de détecter efficacement même les plus petits défauts et micro-puits. L'outil dispose d'une interface utilisateur avancée, avec un menu graphique intuitif et des contrôles faciles à utiliser. Cela permet à l'exploitant de définir rapidement les configurations des inspections et de suivre les résultats des inspections. TENCOR SP1 fournit également des rapports d'état améliorés, permettant aux opérateurs de surveiller l'état des actifs en temps réel. SP 1 utilise un modèle avancé d'imagerie à l'échelle nanométrique qui effectue la détection et l'analyse d'images de contraste élevé. Cette technologie intégrée est capable de capturer les défauts qui ne sont pas détectés par d'autres systèmes d'inspection. L'équipement est capable de détecter la contamination des particules, les décharges de particules, les défauts de ligne, les rayures et d'autres caractéristiques de contraste élevé. Le système est alimenté par un puissant contrôleur logique programmable (PLC) assurant un contrôle supérieur sur l'ensemble de l'unité, tandis que la machine peut être intégrée dans les réseaux et bases de données existants pour fournir une surveillance automatisée et la collecte des données d'inspection. KLA/TENCOR SP 1 est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à réduire le rendement et le coût, à offrir à leurs clients des produits de meilleure qualité et à maintenir leur avantage concurrentiel.
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