Occasion KLA / TENCOR SP1 #9248076 à vendre en France
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Vendu
KLA/TENCOR SP1 est un équipement d'inspection en ligne de masques et de plaquettes spécialement conçu pour détecter les défauts critiques sur toute la surface d'une plaquette ou d'un masque de silicium. Sa technologie d'éclairage brevetée, connue sous le nom de HDIR (High Definition Image Recognition) illumination, éclaire les petits défauts qui ne sont pas visibles dans les systèmes d'inspection optique communs. Sa résolution atteint jusqu'à 4K x 4K, ce qui ne lui permet de détecter des défauts que de quelques microns de taille. Le système est alimenté par un logiciel intuitif qui utilise des algorithmes sophistiqués et des analyses pour évaluer les défauts automatiquement. Il est conçu pour les identifier rapidement et générer des rapports de métrologie complets, contribuant ainsi à la réduction des faux positifs et des pertes de rendement. L'unité dispose également d'une machine de cartographie en ligne des plaquettes pour repérer rapidement et cartographier les endroits défectueux, ainsi que d'un pilote automatique qui lui permet d'exécuter automatiquement des travaux avec une interaction minimale avec l'utilisateur. Cet outil est assez puissant pour inspecter les plaquettes et les masques. Pour les plaquettes, il peut détecter des points faibles, tels que la rugosité et le raccourcissement des coins, ainsi que la contamination générale. Il détecte également l'espacement des motifs pour la vérification de la largeur de ligne afin de s'assurer que la plaquette répond aux exigences de production. Pour les masques, il est capable de détecter les masques contaminés par la poussière, les particules ou la rouille. L'actif peut également vérifier des marques distinctives, ou des motifs d'identification, pour s'assurer que le masque satisfait aux exigences de production. Le modèle SP1 de KLA exécute un ensemble complet de séries de tests standard de l'industrie pour l'évaluation, permettant aux utilisateurs de comparer leurs résultats à ceux obtenus à partir de systèmes comparables. Il est hautement configurable pour n'importe quel processus, application ou environnement, et est également compatible avec plusieurs interfaces WLAN, permettant le diagnostic à distance et la maintenance. Dans l'ensemble, l'équipement est conçu pour fournir des résultats propres, précis et fiables sans intervention de l'opérateur. Ceci fait de TENCOR SP 1 une solution idéale pour l'industrie de la toiture semi-conductrice et pour les concepteurs qui doivent inspecter leurs fournitures. Sa technologie d'éclairage HDIR et ses analyses robustes garantissent que les masques et les plaquettes sont exempts de défauts et répondent aux normes de production.
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