Occasion KLA / TENCOR SP2 XP #9250197 à vendre en France
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KLA/TENCOR SP2 XP est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour permettre aux fabricants d'identifier et de caractériser les défauts sur les plaquettes de production et les photomasques. Le système est équipé de quatre modes d'inspection des défauts, y compris l'inspection des défauts critiques (CDI), le balayage des wafers (WS), l'examen des défauts (DR) et l'examen des défauts complexes (CDR). Le mode d'inspection des défauts critiques (CDI) est conçu pour identifier rapidement et avec précision les défauts de lithographie critiques sur les photomasques et les plaquettes de production qui pourraient être ratés par l'inspection manuelle. Il utilise des capteurs et des algorithmes avancés pour détecter et classer les défauts jusqu'à une taille minimale de fonctionnalité aussi petite que 1 micron. Le puissant moteur d'inspection peut scanner jusqu'à 500 plaquettes en un seul travail, assurant un débit et une précision élevés. Le mode Wafer Scanning (WS) offre une approche efficace et rentable pour une inspection post-modèle complète des wafers de production. Il utilise une technologie de pointe et des algorithmes puissants pour des mesures précises et fiables et la classification des défauts. L'unité peut analyser jusqu'à 500 plaquettes par lot tout en considérant une variété de géométries. Le mode d'examen des défauts (RD) peut être utilisé pour inspecter un seul lieu de décès suspect. Il utilise plusieurs niveaux de grossissement d'image jusqu'à 1000X pour aider à l'analyse manuelle des caractéristiques de défaut d'une seule matrice. La puissante machine de microscope optique et de couture fournit aux utilisateurs une image nette et détaillée de leur plaquette. Le mode Examen des défauts complexes (CDR) est conçu pour fournir une analyse détaillée des défauts complexes ou des défauts d' « effet d'empilement ». Il utilise des capacités avancées de piquage d'image pour simuler une vue en quadrant du défaut ou de la caractéristique. Cela permet aux utilisateurs d'identifier rapidement et avec précision la taille, la forme et le type d'un défaut ou d'une caractéristique. Dans l'ensemble, KLA SP2 XP est un outil d'inspection avancé conçu pour aider les fabricants à détecter et à caractériser les défauts des plaques photomasques et de production jusqu'aux niveaux les plus critiques. Il offre une prise en charge efficace du flux de travail, plusieurs modes d'inspection et une technologie d'automatisation puissante pour garantir un débit et une précision élevés. L'actif est un outil précieux dans le contrôle des processus de fabrication et la réduction des défauts.
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