Occasion KLA / TENCOR SP2 #9023715 à vendre en France
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Vendu
ID: 9023715
Inspection system, edge handling
Bright field: no
Oblique mode: yes
Inspection mode: Normoul HT, ST, LT Obligue HT, ST, LT
Oil contamination kit: no
XP option: no
Software version: NGS 5.2 SR03B1153
Laser life: Spof 11, 1532 hrs
Currently installed in a cleanroom.
KLA/TENCOR SP2 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes utilisé pour inspecter les masques et les plaquettes pendant les processus de production des circuits intégrés. La précision et la vitesse remarquables de KLA SP-2 sont le résultat de ses technologies optiques et de mesure avancées, ainsi que de ses capacités de détection automatisée des défauts. TENCOR SP 2 mesure tous les principaux paramètres du CPVP (correction optique de proximité) nécessaires à l'inspection réussie des masques et plaquettes, y compris les mesures CD (dimension critique) et MIS (système de micro-inspection). Il comprend également des capacités de création de modèles OPC et peut mesurer le CD-SEM, le CD-FTIR (infrarouge à transformée de Fourier), le CD-AFM (microscopie à force atomique), l'AUBO-OCT (tomographie à cohérence optique) et les projections de franges. Les technologies de mesure de niveau nanométrique les plus modernes de KLA SP 2 utilisent une unité d'alignement en cinq dimensions, offrant une flexibilité et une précision accrues lors du réglage des positions et des angles des objectifs de la caméra. SP2 utilise des algorithmes spécialisés de détection de défauts et des filtres de traitement d'image pour détecter, quantifier et signaler ses résultats. En plus de la lecture des images produites par KLA et TENCOR, sa grande bibliothèque d'images peut également être utilisée pour comparer des images de test à des modèles établis de bons composants ou préparer des inspections ou des défis. Par exemple, sa détection automatisée des niveaux manquants peut rapidement identifier les niveaux appropriés qui manquent aux plaquettes, ce qui permet aux utilisateurs d'identifier et de régler rapidement tout problème lié au processus de production. Enfin, SP2 comprend une machine d'alignement automatique continu qui fonctionne de concert avec l'image de champ lumineux du capteur. Tout ce que l'utilisateur a à faire est d'entrer les paramètres appropriés, permettant à l'outil de rapidement auto-calibrer pour détecter des lots de produit inacceptable. De plus, les algorithmes automatisés de reconnaissance des défauts de l'actif sont fiables à plus de 90 %, ce qui signifie que le modèle peut détecter indépendamment les défauts et les classifications complexes. En résumé, TENCOR SP-2 est un équipement automatisé avancé d'inspection des masques et plaquettes qui est équipé des dernières technologies optiques et de mesure. Sa capacité à détecter et classer rapidement les défauts, à mesurer les paramètres OPC et les images auto-alignées en font un outil indispensable pour les processus de production de circuits intégrés.
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