Occasion KLA / TENCOR SP2 #9167412 à vendre en France
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Vendu
ID: 9167412
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Inspection system, 12"
OS: Windows
Non-SMIF
Automation online component: GEM
Wafer type: Notch
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP2 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui fournit une imagerie haute vitesse et haute résolution des surfaces de masque et de plaquettes semi-conducteurs, permettant la détection des défauts très sensibles. Le système est capable de scanner une ou deux plaquettes complètes par balayage, avec la possibilité de basculer entre les balayages individuels des plaquettes et les inspections complètes des plaquettes. Cette unité comprend quatre composants principaux : une source lumineuse, une caméra, une chambre optique et un logiciel d'imagerie personnalisé. La source lumineuse est un tableau LED personnalisé composé de trois longueurs d'onde différentes. Cette configuration fournit un éclairage uniforme mais de haute intensité, ce qui signifie que la qualité de l'image reste constante dans différentes conditions d'exposition. La caméra pour KLA SP-2 est un tableau d'imagerie CCD rétroéclairant. Il est conçu pour maximiser la sensibilité aux différents niveaux de transparence et de réflectivité du masque. Cela permet une imagerie de contraste élevé, donnant à la machine la capacité de détecter un large éventail de défauts et d'autres caractéristiques de la surface de l'échantillon. La chambre optique filtre les sources lumineuses indésirables à bas niveau de la caméra et de l'image, tout en fournissant une focalisation efficace pour la caméra. Associée à la configuration d'éclairage unique de l'outil, cette chambre optique permet également de contrôler la profondeur de champ de l'actif, permettant à l'utilisateur de sélectionner une profondeur de champ peu profonde ou profonde selon l'application. Enfin, le logiciel TENCOR SP 2 est conçu pour traiter rapidement et précisément les images produites par le modèle. Il comprend une variété d'algorithmes de traitement d'image, y compris la détection de défauts, l'auto-couture, l'enregistrement d'image et la correction d'aberration. Le logiciel permet également aux utilisateurs de personnaliser davantage leur analyse, leur permettant d'appliquer des algorithmes spécialisés à des motifs ou des caractéristiques spécifiques sur la surface de l'échantillon. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR SP-2 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes extrêmement puissant qui fournit aux utilisateurs une imagerie précise et haute résolution de leurs échantillons de semi-conducteurs. Avec ses chambres optiques polyvalentes, son réseau d'éclairage LED efficace et ses algorithmes avancés de traitement d'images, le système est capable de détecter un large éventail de défauts et de fonctionnalités jusqu'au niveau du sous-micromètre.
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