Occasion KLA / TENCOR SP2 #9232738 à vendre en France

KLA/TENCOR SP2 est un système d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Utilisant la technologie avancée de comptage de photons uniques, KLA SP-2 fournit une solution complète de détection et d'inspection des défauts pour les masques et les plaquettes. TENCOR SP 2 consiste en un sous-système dédié d'inspection des masques et un sous-système d'inspection des substrats de plaquettes. Chacun de ces sous-systèmes est équipé d'imagerie intégrée, de scanners d'imagerie, d'illuminateurs et de logiciels d'analyse des défauts. Les scanners d'imagerie permettent une imagerie haute résolution avec une focalisation dynamique et des capacités de mesure de courbure, permettant une haute précision de la comparaison d'images. Les illuminateurs fournissent un éclairage très accéléré, permettant une vitesse d'inspection maximale et optimisant la détection des défauts. SP2 dispose également d'un logiciel d'imagerie avancé pour la détection et la classification automatisées des défauts. Ces applications logicielles sont conçues pour identifier les types communs de développement de processus et les anomalies liées aux défauts, ainsi que les défauts causés par une fabrication incorrecte ou des erreurs de dispositifs. En outre, le logiciel d'imagerie est compatible avec les technologies d'imagerie SEM et TEM, permettant une détection rapide et précise des défauts. Pour maximiser le débit, SP-2 dispose d'une capacité de numérisation multi-tranches entièrement automatique. Cette capacité de balayage automatisé permet d'inspecter et d'analyser simultanément plusieurs tranches masques/plaquettes, ce qui permet d'augmenter considérablement les vitesses d'inspection et d'améliorer la couverture des défauts masques/plaquettes. KLA SP2 comprend également une interface utilisateur intégrée pour la caractérisation des masques et des plaquettes. Cette interface utilisateur fournit une visualisation, une comparaison et une analyse efficaces des images, permettant aux utilisateurs de revoir et d'optimiser rapidement le masque/plaquette pour la production. En outre, le système est livré avec une panoplie de statistiques, de manipulations d'images et d'outils d'analyse, pour assurer un contrôle maximal du processus et la fiabilité du produit. Enfin, le système TENCOR SP-2 comprend un outil avancé de journalisation des données et de statistiques qui fournit une journalisation et une analyse détaillées des types et des tailles de défauts. Cette caractéristique permet une analyse ponctuelle des défauts, des analyses détaillées des causes profondes et une meilleure prise de décision dans le processus de production. Dans l'ensemble, TENCOR SP2 offre une solution idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes, offrant des capacités complètes de détection et de caractérisation des défauts de manière automatisée et efficace.