Occasion KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9115616 à vendre en France

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ID: 9115616
Style Vintage: 2012
Wafer inspection system Specification: Main laser: 500 - 550mW, 266nm DUV (deep ultra violet) diode laser, class 4 Edge scan laser: 7mW, 64 nm Diode Laser, Class 3B 2 PMTs Software version NGS 6.10.6231 Software IMC version 2.20.6231 Optics modules: Beam expander and attenuator (BEA) module Beam steering and shaping (BSS) module Spot size changer (SSC) module Illumination module Auto focus system (AFS) Mask changer IMC (Image computer): digital signal processing (DSP) by off system computers Edge handling with 2 Shinko loadport & Yaskawa robot KLARF compatibility 450mm extendibility Optics purge N2 E84/OHT compatible No bright field option 2012 vintage.
KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour détecter rapidement et précisément les défauts dans la fabrication des circuits intégrés. Il offre une haute résolution, un balayage rapide, une automatisation complète et une intégration facile avec d'autres systèmes. Le système KLA SP3 SURFSCAN offre une inspection de surface automatisée et une micro métrologie de surface avec des capacités d'échantillonnage et de mesure haute performance et haute vitesse dans une solution unitaire. TENCOR SP3 SURFSCAN comprend un microscope optique automatisé et performant, un étage motorisé et une puissante machine d'imagerie et d'analyse. En couplant les technologies d'élimination active et de métrologie avec l'imagerie haute résolution, les solutions de surfscan prélèvent des échantillons à un niveau de précision et de vitesse jusqu'alors impossible. Les microscopes SP3 SURFSCAN présentent des objectifs de haute puissance avec des distances de travail allant jusqu'à 200mm, offrant une précision et une résolution exceptionnelles. Le puissant outil d'imagerie et d'analyse accélère la détection et la classification des défauts physiques, électriques et chimiques, permettant une détection et une réparation rapides et précises des défauts. L'actif KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN prend également en charge un large éventail de types de matériaux de plaquettes, y compris l'acier plaqué, le plastique et les surfaces en verre. En outre, il supporte une variété de processus de patrons, y compris les photoprocesses. Il est également conçu pour soutenir les procédés humides et secs, qui sont souvent utilisés pour les procédés nanométriques. KLA SP3 SURFSCAN propose également des outils intégrés de test optique et de métrologie, qui comprennent la cartographie de la résistivité, la mesure de CD et de rugosité, et la cartographie 3D. Ces outils permettent une caractérisation rapide des appareils, offrant aux utilisateurs finaux la capacité de mesurer avec précision les changements dans la caractérisation des appareils au cours du processus de fabrication des IC. Les outils intégrés de test optique et de métrologie permettent une identification plus rapide et plus précise des défauts et la reconnaissance des motifs de processus. En outre, l'acquisition d'images haute résolution et la classification des défauts permettent aux utilisateurs de détecter et réparer avec précision les défauts éventuels. Cela permet des processus plus rapides et plus précis avec des coûts de fabrication considérablement réduits. Enfin, TENCOR SP3 SURFSCAN offre également une expérience utilisateur améliorée, avec son interface graphique utilisateur intuitive, fournissant une vue claire de ce qui se passe. Grâce aux capacités avancées du modèle en matière de rapports et d'analyse des données, il est facile d'évaluer et de comparer les processus et les résultats des produits. L'équipement de flux de travail intégré permet aux utilisateurs de suivre et de suivre efficacement les progrès et de visualiser les paramètres de qualité en temps réel.
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