Occasion KLA / TENCOR SP3 #293636213 à vendre en France
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ID: 293636213
Taille de la plaquette: 6"-12"
Wafer surface inspection system, 6"-12".
KLA/TENCOR SP3 est un équipement avancé d'inspection de masque et de plaquettes, conçu pour le modèle haute performance, la détection de défauts et de pannes pour tous les nœuds de processus de moins de 100nm. Le système est équipé de matériel et de logiciels d'imagerie et de traitement du signal de pointe pour assurer à la fois le contraste et la résolution du signal. KLA SP-3 dispose également de High-Speed Defect Review (HSDR) pour détecter et analyser les défauts critiques à partir des structures des appareils même les plus haute résolution. TENCOR SP 3 dispose d'une unité semi-automatisée qui combine des optiques de précision, des faisceaux et des CCD avec des algorithmes d'imagerie avancés pour une inspection puissante et sensible des topographies complexes des plaquettes. Son algorithme Source-Mask-Image (SMI) est capable de détecter des défauts plus subtils que visuellement perceptibles par l'opérateur. Cela réduit le temps d'inspection et fournit une précision supérieure de détection des défauts. SP-3 dispose également d'un algorithme breveté Architecture-Aware Algorithm (A3), qui utilise des algorithmes avancés de reconnaissance des motifs et de vision par ordinateur pour rapidement repérer et identifier les fonctionnalités de mise en page des masques avec l'aide d'une interface Viewer. Le Viewer fournit une interface utilisateur graphique à distance avec la possibilité de modifier et d'analyser rapidement les données. Les capacités d'automatisation avancées de la machine TENCOR SP3 permettent aux utilisateurs de programmer une grande variété de paramètres personnalisés et de stratégies de localisation. Cela réduit le temps nécessaire pour rejeter les motifs et minimiser les fausses erreurs positives. L'outil dispose d'un puissant module de classification des défauts, qui inspecte et catégorise automatiquement les défauts de mise en page des masques en deux catégories principales : les défauts réels et les défauts liés aux processus. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'identifier rapidement les problèmes critiques potentiels de défauts et de prendre des mesures correctives avant de commencer le processus de fabrication. SP3 dispose également d'un actif de propreté et d'analyse intégré qui intègre une technologie sophistiquée de détection de la contamination des particules et des peuplements. Le modèle peut détecter pratiquement tous les types de défauts jusqu'à 40nm, y compris la contamination par des films organiques et métalliques, la délamination, et même la contamination biologique. KLA/TENCOR SP-3 est un puissant outil d'inspection des masques et des plaquettes, combinant des technologies avancées d'imagerie et de traitement du signal avec des capacités rapides et précises de détection et d'analyse des défauts. Les performances supérieures, la flexibilité, les temps de cycle rapides et les fonctionnalités automatisées font de KLA SP 3 une solution idéale pour la détection de défauts, de défauts et de pannes à des nœuds de processus de moins de 100nm.
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