Occasion KLA / TENCOR SP3 #293648610 à vendre en France
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ID: 293648610
Style Vintage: 2013
Wafer surface inspection system
(3) Wafer loading ports
Equipment Front End Module (EFEM)
Integrated console
2013 vintage.
KLA/TENCOR SP3 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui est utilisé pour détecter les défauts sur les plaquettes et masques semi-conducteurs. Le système utilise la technologie de vision de la machine et comprend des fonctions d'inspection, d'examen des défauts, d'amélioration des rendements et d'automatisation. KLA SP-3 combine l'imagerie de champ lumineux et de champ sombre avec un bras robotique qui déplace la plaquette dans différentes positions d'imagerie. Il est conçu pour détecter les défauts que les systèmes traditionnels d'inspection des masques 2D peuvent négliger, comme la rugosité des bords de ligne et les rayures. TENCOR SP 3 utilise l'imagerie des champs lumineux et sombres pour mesurer la rugosité et les rayures des bords de ligne. Pour l'imagerie en champ lumineux, l'unité amplifie l'image de la plaquette pour permettre la détection de la rugosité de bord de niveau micron et de multiples défauts de surface anormaux. Le traitement d'image Darkfield aide à détecter les matériaux étrangers et d'autres défauts potentiels comme les puces. La machine comprend également un illuminateur sophistiqué avec une exposition uniforme et une lumière texturée pour assurer une résistance précise aux images de motifs. L'outil est équipé d'un logiciel d'alignement fin pour assurer une imagerie précise. Il dispose également de fonctionnalités d'automatisation au niveau des actifs qui utilisent le bras robotique pour faire tourner la plaquette dans la position de visualisation optimale pour une meilleure imagerie. Cela permet au modèle d'analyser rapidement et avec précision l'ensemble de la plaquette pour détecter les défauts. TENCOR SP-3 a un design compact et peut facilement s'intégrer dans n'importe quelle ligne de fabrication de plaquettes. Il se connecte aux ports Ethernet, USB et RS232 standard pour l'intégration avec d'autres systèmes. L'équipement est capable de détecter divers types de défauts avec une grande sensibilité, y compris des motifs hydrophobes, superficiels et étroits. Lorsque des défauts sont détectés, le système enregistre les données avec des informations précises sur leur type et leur emplacement. KLA SP3 comprend également des algorithmes d'amélioration du rendement qui peuvent détecter des types de défauts qui peuvent ne pas être visibles par d'autres systèmes. Cela permet à l'utilisateur de maximiser le rendement et de réduire les coûts. L'unité est facile à utiliser et comprend une interface graphique conviviale pour visualiser les données d'inspection. Dans l'ensemble, KLA SP 3 est une machine avancée d'inspection de masque et de plaquettes qui offre une détection précise des défauts et aide à améliorer les rendements des produits. Il utilise la technologie de vision de la machine et des fonctionnalités d'automatisation avancées pour détecter rapidement et avec précision les défauts. Il comprend également une interface graphique conviviale qui facilite la visualisation des données.
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