Occasion KLA / TENCOR SP3 #9236215 à vendre en France

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KLA / TENCOR SP3
Vendu
ID: 9236215
Taille de la plaquette: 12"
Wafer surface inspection system, 12".
KLA/TENCOR SP3 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour fournir une évaluation complète et précise des défauts des masques et des plaquettes, permettant des mesures correctrices correctes et opportunes. Le système comprend une tête de microscope optique, un faisceau laser et des détecteurs photoélectriques pour détecter et mesurer les défauts. Les capacités de la tête de microscope comprennent la capture automatique d'image, la détection des défauts et la classification automatique. Le faisceau laser est utilisé pour détecter et identifier rapidement les défauts avec une grande précision et les détecteurs photoélectriques fournissent des images claires et nettes de la plaquette et des masques. L'unité produit des rapports détaillés des défauts de la plaquette ou du masque qui comprennent des valeurs de mesure pour la taille des défauts, la forme, l'inclinaison et la profondeur. La machine est interfacée avec un système hôte d'inspection et de métrologie, permettant la gestion en temps réel de l'information et de l'analyse des défauts. L'outil comprend également de puissants outils de visualisation qui permettent une présentation facile des défauts. Cela peut être utilisé pour faciliter l'analyse et l'identification des défauts et pour faciliter les mesures correctives. L'actif est conçu pour assurer une efficacité élevée et un retournement rapide de l'inspection et de l'analyse avec une intervention minimale de l'utilisateur. Le modèle est également évolutif et dispose de fonctions d'étalonnage automatisé, de ressources et de gain de temps. L'équipement KLA SP-3 est capable de fonctionner jusqu'à 150 mm wafers et est livré avec une variété d'options, y compris des filtres, des lentilles et des catalyseurs adaptés pour divers niveaux d'inspection. Sa technologie de recette configurable garantit des performances optimales pour une grande variété d'applications. La programmation avancée de TENCOR SP 3 permet de simuler diverses conditions et de détecter tous les types de défauts, des coupes de surface aux masques empilés. Le système est livré avec une intelligence intégrée qui fournit des résultats précis pour l'inspection des plaquettes de volume élevé, et assure également une haute précision pour les défauts critiques et complexes. KLA SP3 est très fiable et convivial avec une navigation et un contrôle intuitifs. Il offre une gamme complète de solutions d'analyse des défauts et des plaquettes, permettant un meilleur contrôle des processus, une fabrication plus rapide et une efficacité améliorée.
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