Occasion KLA / TENCOR SP3 #9312910 à vendre en France

KLA/TENCOR SP3 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes pour la fabrication de semi-conducteurs. Il permet aux fabricants de détecter rapidement et avec précision les défauts des structures et des substrats semi-conducteurs jusqu'à une résolution aussi faible que 0,5 µm, ce qui entraîne une amélioration significative des rendements des produits. Le système utilise le microscope électronique à balayage (SEM) et la technologie laser de pointe pour détecter et inspecter les images descendantes et transversales de la plaquette ou du masque. Il utilise un détecteur haute résolution pour acquérir une large gamme d'images, de l'agrandissement élevé à la vue d'ensemble. Grâce à son imagerie laser confocale MO, KLA SP-3 est capable de capturer des images des caractéristiques les plus complexes, telles que les masques et les couches d'oxyde multicouches. L'unité est également équipée d'algorithmes puissants de détection de défauts qui peuvent détecter un large éventail de défauts, y compris l'alignement axial, le dopage, le décalage des motifs, les particules, les rayures et les vides. Il utilise une combinaison de technologies d'imagerie classiques telles que la détection de contraste, l'imagerie à décharge brillante et la microscopie électronique à balayage pour détecter même les plus petits défauts. La machine est également équipée de capacités sophistiquées d'ingénierie inverse. Il peut retracer les étapes du processus qui créent une fonctionnalité et ensuite décoder la production sous-jacente ou l'intention de conception en utilisant l'entrée des ingénieurs inverseurs de l'équipe d'ingénierie du client. En outre, TENCOR SP 3 dispose d'une bibliothèque de schémas de processus, permettant à l'outil d'analyser et d'enregistrer les détails de motifs de toutes les planches en ligne de production. Il offre également un examen détaillé des variations de lithographie, permettant aux fabricants de détecter rapidement les variations de processus afin d'effectuer les ajustements correctifs appropriés. KLA/TENCOR SP 3 dispose également d'une précieuse bibliothèque intégrée de capacités d'analyse des tendances statistiques et de rapports qui peuvent être utilisées pour suivre les processus et les tendances au fil du temps. Enfin, l'actif comprend la technologie d'automatisation du flux de travail. Cela permet au modèle de reconnaître automatiquement les points d'arrêt opérationnels dans la production et d'avertir le fabricant de la nécessité d'une réponse. L'automatisation permet de réduire les temps d'inspection globaux et d'augmenter le rendement. Dans l'ensemble, l'équipement KLA SP3 est une solution de pointe pour l'inspection des masques et des plaquettes et l'optimisation des processus. Il offre un moyen fiable et précis de détecter les petits défauts, de repérer les variations de processus et d'analyser les tendances de la production au fil du temps.