Occasion KLA / TENCOR Spectra CD-XT #9308718 à vendre en France

KLA/TENCOR Spectra CD-XT est un équipement complet d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système intègre un étage de plaquette, une source lumineuse et un ensemble de capteurs pour l'imagerie haute résolution afin de détecter les défauts sur le masque et la plaquette. Au cœur de l'unité est KLA haute performance d'éclairage laser ligne par ligne, qui permet une haute résolution, l'analyse en temps réel des défauts aux résolutions sous-nanométriques. La machine est optimisée pour les technologies de pointe, telles que les inspections multicouches, les inspections des lignes métalliques et le contrôle des processus. Le processus d'inspection automatisé contribue à accroître la convergence et la productivité des processus tout en réduisant le temps de cycle. L'outil a une configuration standard composée de quatre caméras et de deux sources lumineuses laser qui assurent une large couverture de la plaquette. L'actif peut accueillir jusqu'à huit caméras et trois sources lumineuses laser. Le modèle comporte deux algorithmes d'extraction qui permettent l'inspection des surfaces 1-D, 2-D ou 3-D, ainsi que la caractérisation des défauts, y compris le type, la position et la taille. KLA Spectra CD-XT fournit également des capacités avancées de métrologie et de classification des défauts, tels que l'appariement des fonctionnalités et le tranchage. Les capacités innovantes d'extraction des fonctionnalités permettent d'inspecter les structures sous-ondes, y compris celles construites pour les structures 3D, permettant une plus grande précision dans l'identification des défauts de motifs. De plus, l'équipement comporte un environnement intégré d'analyse et de déclaration, qui comprend l'analyse des données, le contrôle de la qualité et la surveillance des processus. Cela permet aux utilisateurs de surveiller, contrôler et analyser les flux de processus ainsi que d'identifier et de traiter rapidement les problèmes. Le système comprend une interface conviviale qui permet aux utilisateurs de contrôler facilement l'unité et d'appliquer des processus à la plaquette. TENCOR SPECTRA CD XT est une puissante machine d'inspection de masques et de plaquettes qui peut accueillir une variété de processus et de technologies. En fournissant une métrologie avancée et une classification des défauts, l'outil est conçu pour permettre une meilleure performance et précision dans la détection des défauts. Cela permet d'assurer un meilleur rendement et une meilleure qualité des circuits semi-conducteurs intégrés.