Occasion KLA / TENCOR Spectra CD-XTS+ #9263050 à vendre en France

KLA/TENCOR Spectra CD-XTS + est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour les fabricants de semi-conducteurs afin de mesurer les paramètres physiques sur une plaquette ou une matrice. Il faut encore une étape de métrologie en fournissant une rétroaction à l'utilisateur au fur et à mesure que les tests sont effectués via l'interface utilisateur, permettant des réglages de processus en temps réel pendant le test et le processus de mesure de la plaquette. KLA Spectra CD-XTS + comprend plusieurs composants intégrés, tels que la colonne de faisceau d'électrons, le capteur optique et la commande logicielle, pour acquérir des images haute résolution et des paramètres physiques détaillés à partir de caractéristiques semi-conductrices testées. La déflexion du faisceau dans la colonne est contrôlée par des ensembles de colonnes de contrôle de coordonnées X-Y et la colonne est également intégrée à un puissant processeur d'acquisition de données (DAP) permettant une capture de données très rapide. Les mouvements X-Y de la colonne permettent de tester des paramètres physiques sur une très petite surface de la plaquette ou de la matrice à haute résolution. Le système optique TENCOR Spectra CD-XTS + comprend une caméra CCD, qui capture les images des zones testées avant leur envoi à l'unité de traitement. L'unité de traitement est composée d'un ordinateur puissant exécutant les algorithmes logiciels spécialisés qui joignent les images brutes acquises en une carte de données uniforme pour une analyse plus poussée. A l'aide de cette carte de données, le logiciel peut alors utiliser plusieurs algorithmes spécialisés pour calculer diverses mesures critiques et également établir des tendances concernant les performances dans le temps. Cela permet un niveau élevé de contrôle de la qualité et une analyse détaillée des éventuelles variations ou incohérences de processus qui pourraient autrement être ratées par les méthodes d'essai classiques. De plus, Spectra CD-XTS + comprend un balayage de ligne laser par logiciel (LLS) dédié pour localiser spatialement les structures sur la plaquette ainsi que pour saisir leurs paramètres physiques détaillés tels que l'épaisseur, l'angle d'inclinaison, la profondeur ou la distance entre les structures. Enfin, il comprend également une unité d'inspection entièrement programmable qui détecte et signale rapidement tout défaut, permettant aux utilisateurs de prendre des mesures correctives ou de lancer rapidement l'optimisation des processus. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR Spectra CD-XTS + est une puissante et polyvalente machine de test et de métrologie de plaquettes capable de fournir un ensemble complet de paramètres physiques détaillés tout en incorporant la rétroaction pour améliorer le contrôle des processus. Grâce à sa combinaison de capacités avancées de contrôle des faisceaux, d'inspection et de traitement des données, KLA Spectra CD-XTS + est un excellent choix pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.