Occasion KLA / TENCOR Spectra CD #9248732 à vendre en France
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ID: 9248732
Style Vintage: 2001
Film thickness measurement system
With F5x + CD (scatterometry) options
Pentium processor, 800 Mhz
OS: Win NT
Measurement modes: DBS and SE
Cognex 8100
Vacuum chuck, 12"
Single open cassette loader, 8"-12"
Pre-aligner
2001 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes créé par KLA. Il est conçu pour détecter rapidement et avec précision les défauts dans les masques et les plaquettes pour permettre la fabrication efficace de circuits électroniques intégrés. Le système KLA Spectra CD utilise l'inspection plein champ pour identifier et analyser les défauts sur les surfaces des photomasques et des plaquettes. Une inspection sur le terrain fournit une image extrêmement détaillée de la surface inspectée. Il est également capable de détecter à la fois des défauts planaires et des irrégularités de surface tridimensionnelles. L'unité est capable de capturer des images sous différents angles d'éclairage pour améliorer encore la précision de détection des défauts. TENCOR SPECTRACD peut traiter une variété de substrats, y compris des plaquettes de silicium, des masques à contact dur et des matériaux organiques tels que le polyimide ou le PDMS. Pour obtenir le plus haut niveau de détection d'aide, la machine utilise une combinaison de scatterométrie, de spectroscopie et d'imagerie de diffusion pour analyser la surface de la plaquette ou du masque avec un haut degré de précision. L'outil a la capacité de détecter des défauts aussi petits que 40 nm dans la taille et avec une différence de contraste inférieure à .003. En plus des capacités de détection des défauts, SPECTRACD est capable d'analyser la précision globale et la forme de la surface de la plaquette ou du masque. Ce procédé permet de s'assurer que les masques et plaquettes produits sont de la plus haute qualité et capables de fonctionner de manière optimale lorsqu'ils sont utilisés dans le cadre d'un circuit intégré. Le modèle est également capable d'analyser la différence d'indice de réfraction entre le substrat et la couche sur le dessus, aidant à identifier les défauts qui autrement passeraient inaperçus. Il est également capable d'inspecter à travers plusieurs couches de matériau ultra-mince, lui permettant de détecter des erreurs dans le masque ou la plaquette qui seraient sinon indétectables. L'équipement KLA/TENCOR SPECTRACD est extrêmement facile à utiliser et peut être rapidement configuré et prêt à l'emploi. Le système comprend également une série d'outils d'analyse avancés, permettant aux utilisateurs d'analyser rapidement et avec précision les résultats de leurs inspections. KLA SPECTRACD a été largement utilisé pour assurer la production efficace de circuits intégrés. Il est largement considéré comme l'un des systèmes d'inspection des masques et des plaquettes les plus fiables et les plus complets disponibles, ce qui permet de s'assurer que les puces de haute qualité sont produites en temps opportun et de façon rentable.
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