Occasion KLA / TENCOR Spectra CD #9251386 à vendre en France
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KLA/TENCOR Spectra CD est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui fournit les niveaux les plus élevés de la détection automatisée et intégrée des défauts et de la classification des défauts. Il offre la métrologie de surface et de superposition 3D, l'imagerie et la révision des défauts, résister au profilage et à la classification systématique des défauts. Ce système est conçu pour aider les magasins de masques et les fabricants de dispositifs intégrés (IDM) à améliorer les rendements, tout en minimisant les ressources humaines nécessaires pour inspecter les masques et les plaquettes. L'unité KLA Spectra CD permet un alignement précis et automatisé de la plaquette ou du masque, afin d'obtenir les meilleurs résultats possibles. Cet alignement comprend des points automatiques de plusieurs images pour s'assurer que les défauts peuvent être identifiés avec précision, peu importe leur emplacement exact. En outre, la machine peut détecter et classer les défauts à des seuils très bas, ce qui permet d'obtenir le plus haut niveau de précision dans son analyse. L'outil utilise des technologies automatisées de détection et d'analyse 3D pour mesurer et classer les défauts des surfaces du masque et de la plaquette. Avec des filtres avancés et des outils d'automatisation, l'actif peut rapidement identifier les défauts de particules, de vide et de ligne sur les surfaces du masque et de la plaquette. Une fois les défauts identifiés, il peut ensuite les classer en différents types de caractéristiques, telles que pelage et déformation entre autres, ce qui permet de bien comprendre les types de défauts sur un substrat donné. En outre, le modèle TENCOR SPECTRACD offre des capacités de comparaison et de mesure de profil de résistance automatisées. Cela permet aux utilisateurs de mesurer et de comparer l'épaisseur des différentes couches, fournissant ainsi des informations précieuses pour optimiser les processus et augmenter le rendement. L'équipement est également équipé de technologies d'imagerie flexibles de pointe, y compris les capacités d'épi, de champ noir et de champ lumineux, qui donnent aux utilisateurs une véritable représentation visuelle de ce qui se passe sur les masques et les plaquettes. Le système SPECTRACD KLA s'intègre à d'autres systèmes, tels que les systèmes d'exploitation et de contrôle des processus, afin d'assurer un niveau plus élevé d'automatisation et de cohérence. Il prend également en charge le suivi historique complet des défauts et les rapports, de sorte que les résultats du processus peuvent être suivis au fil du temps, améliorant encore l'optimisation du rendement. Dans l'ensemble, SPECTRACD est une unité impressionnante et hautement capable pour l'inspection des masques et des plaquettes. Grâce à ses capacités de détection et d'analyse 3D hautement avancées et automatisées, ainsi qu'à ses technologies d'imagerie flexibles, il offre les meilleures améliorations possibles en matière de rendement et d'identification des défauts. De plus, son alignement automatisé, sa classification des défauts, sa résistance à la mesure du profil et ses capacités d'intégration en font un choix idéal pour toute entreprise de masque ou IDM cherchant à améliorer les rendements et la cohérence.
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