Occasion KLA / TENCOR STARlight SL3 UV URSA #9058370 à vendre en France
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Vendu
ID: 9058370
Inspection system, 6"
Automation:
KLA RF File format output
Klarity analysis
Automatic error recovery
System output:
Minimum output capability (Reticles per week):
0.25 um pixel size with 100 x 100 mm inspection area: 100
Minimum run rate (Reticles / Hour):
0.25 um pixel size for 100 x 100 mm inspection area: 0.7
0.375 um pixel size for 100 x 100 mm inspection area: 1.3
0.5 um pixel size for 100 x 100 mm inspection area: 1.9
Process capability:
Box handling
Manual load
NIKON Reticle, 6"
Upgraded to HR (High resolution)
Mask basic inspection capability:
OPC Inspection
APSM (DAP Design) Inspection
EPSM Inspection capability including EPSM and full ternary
Shifter transmission: ≤40% at 364 nm wavelength
Review capability:
Transmission review
Reflective review
On line review
Repeat review
Sizing capability
Offline view (Not classification)
Offline classification option
Show new defect capability
Recipe setup / Automation:
Auto setup capability
Light tower
Selectively inspect: Glass, pellicle or chrome surfaces
Maximum recipe setup time: 15 Minutes
Three level password protection capability: Operator, engineer & FSE
Continuous vs single-step operation capability
Auto loader cycling capability
Barcode reading capability
Networking capability
Auto operation capability with existing recipe
Minimum inspectable mask characteristics:
Minimum pitch larger than or equals to twice of the minimum line width:
Minimum inspectable main feature size (nm) at:
0.186 um pixel size (Option): 400
0.25 um pixel size: 500
0.375 um pixel size: 750
0.5 um pixel size: 1000
Minimum pitch larger than or equals to 2.5 times of the minimum chrome line width:
Minimum inspectable main feature size (nm) at:
0.186 um pixel size (Option): 220
0.25 um pixel size: 320
0.375 um pixel size: 560
OPC Features:
Minimum inspectable OPC serif / Inverse (nm): 200
Minimum inspectable OPC jog (nm): 14
Inspection characteristics:
Within tool matching: ≤5%
Tool to tool matching: ≤10%
False defect rate (Defects/cm²): 0.1
For inspection area > 10 cm²: 0.1
Sensitivity on pellicle @ 98% capture rate (nm): 4000
Sensitivity on glass @ 98% capture rate (nm):4000
Minimum pitch larger than/or equals to twice of the minimum line width:
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.186um inspection pixel size
PSLs (Option) EPSM capture rate on shifter substrate @ 90.4%: 140
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.25um
EPSM Capture rate on shifter substrate @ 90.4%: 180
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.375um
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.50um
Minimum pitch larger than or equals to 2.5 times of the minimum chrome line width:
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.186um
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.25um
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.375 um
Inspection pixel size on reticle using PSLs: 350
Sensitivity on chrome @ 98% capture rate (nm) at 0.5 um
Inspection pixel size on a reticle using PSLs: 500
Exclusion zones:
Pelliclized plate:
Exclusion on chrome side (mm)
For 0.25um pixel or greater: 3.5
For 0.186um pixel: 5.5
Exclusion on pellicle (mm): 1
Exclusion on glass (mm): 3
Unpelliclized plate:
(3) Exclusion on 6" back glass
(3) Exclusion on 6" front side
1999 vintage.
KLA/TENCOR STARlight SL3 UV URSA est un équipement avancé d'inspection de masque et de plaquettes qui utilise la technologie brevetée d'imagerie UV à double longueur d'onde. Il supprime la nécessité d'une source lumineuse externe, permettant l'imagerie directe de la plaquette, avec une précision d'imagerie maximale et un rapport signal sur bruit élevé. KLA STARlight SL3 UV URSA est conçu pour l'inspection automatisée et autonome des applications des masques et des plaquettes, y compris l'inspection des bosses des plaquettes, l'inspection des litho/gravures, l'inspection des photomasques, l'inspection des superpositions et diverses tâches de détection et de classification des défauts. Le système est construit autour d'un moteur d'imagerie UV entièrement automatisé, mono et double longueur d'onde avec un grand champ de vision pouvant atteindre 17cm x 17cm. Il fournit l'éclairage UV nécessaire à l'acquisition d'images UV. Sa construction rigide, son environnement thermique stable et son optique haute performance assurent une imagerie précise sur l'ensemble du champ de vision. L'unité intégrée de réduction du bruit aide à réduire le bruit de fond et fournit des images de contraste élevé. La machine est équipée d'une plate-forme de traitement d'image de pointe. Il dispose d'algorithmes de détection de défauts rapides, intuitifs et très précis basés sur une technologie avancée de reconnaissance des motifs. La fonction d'amélioration du signal adaptatif s'ajuste automatiquement aux conditions changeantes afin de détecter même les plus petits défauts. L'outil offre également des capacités d'analyse et de mesure intégrées qui permettent un contrôle et une optimisation avancés des processus. TENCOR STARlight SL3 UV URSA dispose d'une interface utilisateur basée sur Windows qui fournit un fonctionnement simple à utiliser et efficace. Il comprend un ensemble complet d'outils faciles à utiliser et permet une acquisition et une évaluation faciles des données. L'actif supporte la connectivité réseau et est compatible avec les logiciels de fabrication populaires, permettant une intégration flexible avec les lignes de production existantes. STARlight SL3 UV URSA est un modèle puissant et riche en fonctionnalités pour l'inspection des applications de masque et de plaquettes. Sa technologie avancée d'imagerie à deux longueurs d'onde et ses capacités étendues de traitement d'image fournissent la plus grande précision et fiabilité. Associée à ses capacités d'intégration flexibles, elle est une solution idéale pour l'inspection automatisée des masques et des plaquettes.
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