Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211403 à vendre en France
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Vendu
ID: 9211403
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Wafer surface analysis system, 8"
Open cassette handler with single end effector
Polished silicon 95% capture: 0.08 um defect sensitivity
Defect map & histogram with zoom micro view measurement capability
Up to 150 wafers per hour throughput on 200 mm wafers
Illumination source:
30 mW Argon-ion laser
488 nm Wavelength
Operator interface: MS Windows NT 4.0
TFT Flat panel display
Parallel printer port
Operations manual
1997 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Classic est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour des applications de production et de recherche-développement. Il offre une combinaison d'inspection en vue directe haute résolution, d'examen automatisé des défauts et de métrologie optique en ligne pour les applications d'inspection des défauts les plus exigeantes. Le système SP1 offre un design d'imagerie réglable, qui permet d'acquérir rapidement et avec précision des images de taille, d'agrandissement et de vitesse de répétition variables. La conception d'imagerie comprend une gamme complète d'images numériques et de composants logiciels, tels que des algorithmes avancés de photéométrie, de radiométrie et d'identification de motifs, et une unité d'éclairage multipoint. La machine SP1 offre également une imagerie haute résolution jusqu'à 1,0 micron de pas, ce qui est plus que suffisant pour visualiser les structures de dimension critique (CD), ainsi que l'imagerie des défauts de faible grossissement. De plus, l'outil SP1 est capable de capturer des images à des cadences allant jusqu'à 2000 images par seconde, et peut être configuré pour visualiser l'ensemble de la plaquette dans une période de 24 heures. La conception d'imagerie de l'actif SP1 est complétée par un modèle d'examen des défauts de pointe, qui utilise une combinaison puissante d'algorithmes de vision, d'outils d'analyse de données complexes et d'un équipement de classification automatique sophistiqué. Ce système d'examen des défauts facilite l'inspection automatisée de divers types de défauts, y compris les particules induites par le processus, les défauts d'ouverture et de tranchée et les MSP. L'unité de révision des défauts peut également être configurée pour incorporer des tests définis par l'utilisateur, tels que des tests de connectivité BGA automatisés, ou un simple test de comparaison de pixels. En outre, la machine SP1 dispose d'un outil intégré de métrologie optique en ligne, qui fournit des mesures complètes des formes de profil de plaquettes et de leurs dimensions critiques associées. Cet actif de métrologie est capable de mesurer une grande variété de dimensions critiques, y compris le recouvrement, les largeurs et espacements des lignes, les dimensions des zones critiques, l'épaisseur des couches critiques et la rugosité des bords de ligne. Enfin, le modèle SP1 comprend également une suite d'outils logiciels avancés, qui simplifient l'acquisition, le traitement et le stockage des données d'image. Ces logiciels comprennent des analyses détaillées de la classification des défauts, des capacités automatisées de marquage et de réparation des défauts et des options sophistiquées d'imagerie photométrique et radiométrique. Dans l'ensemble, KLA SP1 Classic est un équipement avancé d'inspection de masque et de plaquettes qui offre une large gamme de fonctionnalités pour une variété d'applications d'inspection de défauts. Avec sa conception d'imagerie réglable, son imagerie haute résolution, son système automatisé de révision des défauts et ses capacités de métrologie optique en ligne, l'unité SP1 est idéale pour les environnements de production et de recherche qui nécessitent des solutions complètes d'inspection des défauts.
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