Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293760176 à vendre en France

ID: 293760176
Taille de la plaquette: 6"-12"
Inspection system, 6"-12".
KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI est un masque de pointe et un équipement d'inspection de plaquettes spécialement conçu pour les noeuds avancés de technologie semi-conductrice, tels que 10 nanomètres (nm) et en dessous. Le système combine des capacités supérieures de détection de défauts et des débits de pointe de l'industrie pour s'assurer que les inspections de masques et de plaquettes les plus difficiles sont possibles. L'unité est une solution « tout-en-un » qui comprend la puissante tête de balayage Surfscan, des microscopes de cartographie de surface, des processus de nettoyage brevetés, des outils d'alignement optique, et le logiciel de contrôle et d'interface pour maximiser les performances. La machine fournit une imagerie de surface supérieure et la détection des défauts pour les exigences les plus difficiles masque et wafer inspection. La tête de balayage Surfscan est un instrument de précision conçu pour des tâches exigeantes d'inspection des masques et des plaquettes. Il offre un débit élevé, une faible latence et une imagerie à faible bruit. Il offre également une résolution supérieure, un grand champ de vision et une technologie de reconnaissance automatisée des défauts. La tête de balayage est capable de scanner et de mesurer à la fois les structures photomasques et les plaquettes. Les microscopes de cartographie de surface permettent d'examiner et d'analyser en détail les structures d'essai sur la plaquette et la photomasque. Les microscopes offrent un champ de vision important et un grossissement supérieur qui permet de détecter rapidement la contamination et les défauts. Les prismes microscopiques permettent également la reconnaissance détaillée des motifs et le traitement des images pour améliorer la précision de détection des défauts. Les procédés de nettoyage brevetés permettent d'éliminer les défauts mineurs de la surface du photomasque ou de la plaquette sans endommager le mode de production. Ces procédés impliquent des techniques de nettoyage précises et l'utilisation de matériaux soudés avancés qui travaillent à nettoyer la surface sans endommager les caractéristiques ou dégrader le modèle de production global. L'outil comprend également des outils d'alignement optique spécialement conçus pour améliorer les performances de l'actif. Les outils permettent un alignement précis de l'optique pour s'assurer que le modèle est correctement calibré et parfaitement aligné pour toutes les opérations. Le logiciel de contrôle et d'interface fournit une interface complète d'équipement qui permet à l'utilisateur de contrôler le système et ses processus. L'interface donne également accès à des informations et des données d'état en temps réel, donnant à l'utilisateur les informations les plus détaillées et les plus à jour sur les performances de l'unité. KLA Surfscan SP1-TBI est le masque ultime et la machine d'inspection des plaquettes pour les applications les plus difficiles. Doté d'une puissante tête de scanner à haut débit, de prismes microscopiques, de processus de nettoyage et de logiciels de contrôle et d'interface, l'outil est une solution complète qui maximise les performances et permet les niveaux les plus élevés de rendement et de qualité des puces.
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