Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9221536 à vendre en France
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Vendu
ID: 9221536
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Particle measurement system, 12"
Sensitivity modes:
Standard throughput inspection mode
High throughput inspection mode
High sensitivity inspection mode
Advanced illumination optics supporting the following mode(s):
Normal illumination
Oblique illumination
Includes:
UV Laser
Defect map and histogram with zoom
iMicroView measurement capability
SURFimage
Real-time defect classification (RTDC)
Microsoft Windows XP operating system
Book on board
Soft copy of operations manuals
Puck handling: 8"/12"
Equipped with powder coat painted panels
12" Phoenix dual FIMS vacuum wafer handler (PP) included
Secondary UI for bulkhead installation
Configured for MCCB (US/EU) power inlet
Configured for IC/OEM Mfg surf quality recipe
STD Throughput inspection mode
High throughput inspect mode
Optical filter
Enhanced XY coordinates enabled:
Standard classification
LPD-N classification
LPD-ES classification
Grading and sorting
20°
40°
Rough films
Haze enabled
Haze normalization enabled
Haze analysis enabled
Haze line classification enabled
IDM SP2
2mm Edge exclusion
4 Color light tower (RYGB)
GEM / SECS & HSMS
T System (High speed messaging system)
E87 Carrier management services (Based on E39)
Based on E39 object services
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate
Tracking
(2) AdvanTag radio frequency (RF) carrier ID readers
Identifies the name of the carrier (FOUP)
Intended for use with phoenix handler and Isoport load ports
One reader required for each FOUP load port
2006 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP est un équipement avancé d'inspection des plaquettes conçu pour l'inspection des masques de haute précision et la caractérisation de la surface des plaquettes. Il combine une optique adaptative, une imagerie à faible bruit, des algorithmes de mesure automatisés et une puissante capacité de calcul pour offrir une plate-forme complète pour la caractérisation des plaquettes et l'analyse des défauts. KLA Surfscan SP2 XP dispose d'un grand champ de vision (FOV) pouvant atteindre 12mm et d'une haute résolution optique supérieure à 1µm, ce qui lui permet de mesurer avec précision même les défauts de sous-microns. Il a la capacité d'analyser jusqu'à 150 images de plaquettes par minute et ses mesures automatiques combinent détection de taches serrées, balayage de zone avec filtrage de données et analyse de pixels. Grâce à sa technologie intégrée de fusion d'images, le système est en mesure de comparer avec précision les données provenant de plusieurs capteurs, ce qui lui permet d'obtenir la plus grande précision. L'unité est équipée d'un logiciel d'imagerie amélioré, d'une bibliothèque d'analyse d'image avancée et d'une conception matérielle puissante, lui permettant de détecter efficacement les contaminations, les défauts et les variations sur les surfaces des plaquettes. Il comprend également une source de lumière qui peut être ajustée pour fonctionner dans les spectres infrarouge, visible ou ultraviolet (UV), lui permettant d'inspecter des surfaces très réfléchissantes ainsi que des caractéristiques intégrées. Les capacités de détection et d'analyse des défauts à plusieurs niveaux de la machine lui permettent non seulement de détecter les contaminants des particules, mais aussi d'évaluer leur composition, leur taille, leur forme et leur orientation. En outre, TENCOR Surfscan SP2 XP dispose d'un outil automatisé de traitement et de déclaration en ligne qui fournit des informations en temps réel sur les défauts de plaquette. Les outils d'analyse et de déclaration des données aident les utilisateurs à identifier rapidement les tendances des défaillances et à prendre des mesures proactives afin d'améliorer le rendement. Avec son imagerie avancée, ses mesures haute résolution et sa conception matérielle robuste, Surfscan SP2 XP est une plate-forme idéale pour l'inspection des masques et la caractérisation de la surface des plaquettes. Il est bien adapté pour la production de semi-conducteurs, l'emballage et l'affichage à panneaux plats et fournit une solution complète pour l'inspection des plaquettes et des masques de haute précision.
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