Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293603304 à vendre en France

KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection de masque et de plaquette de pointe conçu pour détecter avec précision les défauts sur les surfaces de masque et de plaquette de semi-conducteur. Il est doté d'une optique de pointe, d'algorithmes exclusifs et d'une électronique de haute précision permettant d'identifier et de mesurer rapidement les défauts de masque et de plaquette les plus difficiles. Le système KLA Surfscan SP2 combine deux techniques de détection complémentaires : l'imagerie par balayage à large bande (BSI) et l'imagerie par contraste des bords (ECI). BSI est une technique d'imagerie télécentrique plein champ à haute résolution qui capture l'image 2D entière d'une plaquette ou d'un masque à résolution microscopique. Il permet une détection sensible des défauts sur les petites caractéristiques, permettant une mesure précise et l'identification des motifs avec des fonds complexes. ECI se concentre sur les défauts identifiés en utilisant de petites vibrations et/ou mouvements latéraux pour mesurer précisément le contraste des bords dans les structures ultra-petites. Cette technique permet une localisation et une mesure précises des défauts individuels et permet une quantification précise du type et de la taille des défauts. L'unité est conçue pour une flexibilité maximale et peut être configurée pour diverses applications, y compris les mesures opto-électroniques, l'imagerie CD-SEM et espaceur, les mesures de dimensions critiques et l'inspection des défauts. La machine entièrement automatisée permet un processus d'inspection cohérent et efficace, avec des utilisateurs capables de personnaliser les critères de détection des défauts pour une variété de types de plaquettes et de masques. TENCOR SURFSCAN SP 2 offre des capacités d'imagerie et d'affichage avancées telles que l'imagerie optique à fort grossissement, l'inspection localisée et la reconnaissance automatisée des fonctionnalités. Il offre des critères dynamiques de détection des défauts avec des algorithmes sophistiqués de reconnaissance des défauts, permettant à l'utilisateur de sélectionner la stratégie d'inspection la plus appropriée et les paramètres personnalisés. Grâce à la classification automatisée des défauts, à l'examen manuel et au marquage des défauts au niveau de la matrice, l'outil offre un processus d'inspection et d'examen des défauts efficace et complet. L'actif comporte également une variété de fonctions conçues pour simplifier le processus de détection des défauts, comme un modèle de mesure automatisé avec la collecte de données au niveau de l'appareil, ainsi que le suivi automatisé des défauts et l'analyse post-inspection. De telles fonctionnalités permettent aux utilisateurs de raccourcir leurs cycles d'inspection et d'identifier rapidement les défauts potentiels sur une plaquette ou un masque. En conclusion, TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection avancé et polyvalent conçu pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une variété de fonctionnalités et de capacités qui le rendent idéal pour détecter et analyser de minuscules défauts de masque et de plaquette, permettant aux utilisateurs de détecter et de mesurer des défauts sur même les surfaces semi-conductrices les plus difficiles.