Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549 à vendre en France

KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement avancé d'inspection automatisée des masques et plaquettes de KLA Corporation. Le système est conçu pour assurer que chaque étape de la fabrication d'appareils électroniques avancés est aussi proche de la perfection que possible, fournissant le maximum de précision pour les composants extrêmement sensibles et complexes. Le cœur de l'unité est son logiciel ProTEG, qui utilise des techniques d'imagerie bidimensionnelle avancées pour détecter les défauts des motifs jusqu'au niveau du nanomètre. Sa technologie d'imagerie spectrale multi-canaux (MCSI) utilise de multiples bandes spectrales pour détecter des défauts dépassant les limites des systèmes optiques classiques. Cela fonctionne en tandem avec des algorithmes avancés de reconnaissance de motifs pour détecter les défauts les plus difficiles qui autrement seraient manqués ou ne seraient pas détectés. Grâce à cette technologie, le SP2 effectue également une inspection automatique de la superposition, de la dimension critique (CD) et des défauts électriques. Sa technique brevetée Darkfield Illumination (DFI) permet de détecter les caractéristiques extrêmement faibles et étroites des circuits. En analysant la conductivité et la résistivité, le SP2 peut identifier les défauts électriques potentiels, y compris le pontage, le raccourcissement et les circuits ouverts. Le SP2 est également livré avec une variété de capacités d'inspection de plaquettes et d'inspection de masques, y compris ScanEtch Plus (SEP) et Wafer Edge Inspect (WEI). SEP est une réserve intégrée multi-substrat pour améliorer le traitement des substrats critiques et non critiques. L'IFE inspecte la métrologie de la plaquette, ainsi que divers types de défauts, tels que les rayures et la contamination. Au-delà des composants, le SP2 est équipé d'une interface utilisateur intégrée, fournissant un contrôle intuitif, la surveillance et l'installation de la machine. L'interface utilisateur permet également la personnalisation des masques et des stratégies d'inspection des plaquettes au sein de l'outil, ainsi que l'intégration d'une variété de systèmes externes d'automatisation tiers. En résumé, KLA Surfscan SP2 fournit aux utilisateurs une solution d'inspection de masque et de plaquette automatisée de pointe. Sa gamme de fonctionnalités et de capacités innovantes le rend idéal pour une variété d'environnements de fabrication robustes et de précision.