Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108 à vendre en France

ID: 293624108
Inspection system.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection des masques et plaquettes conçu pour inspecter rapidement et précisément les masques et plaquettes. Le système utilise une optique avancée et des logiciels pour inspecter les bords des plaquettes et d'autres caractéristiques pour l'uniformité et la forme. Une palette automatisée permet la manutention et le transport des plaquettes, avec une unité d'étalonnage unique qui garantit que chaque plaquette est manipulée sous sa forme la plus précise. La machine supporte également les transferts de masque à plaquette standard de l'industrie, permettant un fonctionnement optimal lors du travail avec de grands volumes de masques. Le sous-système optique de l'outil est une configuration en deux étapes composée d'une source d'éclairage au xénon pulsé refroidi par air et d'une caméra CCD scannée. L'optique de l'actif est conçue pour fournir une imagerie haute résolution du masque et de la surface de la plaquette. La conception de l'éclairage utilise un diffuseur et un modèle de masquage à angle étroit pour assurer un éclairage uniforme, tandis qu'un filtre antireflet sélectionnable assure l'angle d'éclairage correct. La suite logicielle de l'équipement est conçue pour détecter, analyser et classer les défauts des masques et des plaquettes. KLA Surfscan SP2 utilise un ensemble d'algorithmes pour détecter et classer une variété de défauts tels que les particules, la corrosion, les rayures et les distorsions. Le système offre également une boîte à outils de défaut pour personnaliser les actions de setpoint, ainsi que le contrôle statistique des processus (RCP) pour analyser les tendances dans les processus d'inspection des masques et des plaquettes. L'unité TENCOR SURFSCAN SP 2 offre une évolutivité et une flexibilité pour répondre aux besoins de différentes applications. La machine optique réglable permet à l'utilisateur d'ajuster le champ de vision, permettant la détection et l'inspection de petites et grandes caractéristiques de surface. L'outil comprend également un actif de détermination de bord de plaquette, qui fournit une couche supplémentaire de précision lors du positionnement de plaquettes pour l'inspection. SURFSCAN SP 2 est un modèle avancé d'inspection des masques et des plaquettes. Son optique avancée, sa suite logicielle et son évolutivité en font une solution idéale pour les applications d'inspection des masques et des plaquettes. Avec sa conception supérieure, l'équipement est capable de détecter et de classer une variété de défauts rapidement et avec précision, fournissant aux utilisateurs des résultats d'inspection fiables et précis.
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