Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293625532 à vendre en France
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KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce système est conçu pour inspecter les plaquettes, masques et photomasques semi-conducteurs avec une grande précision et répétabilité. KLA Surfscan SP2 est capable de détecter des défauts de taille 100 nanomètres avec une résolution spatiale inférieure à un nanomètre. Il est équipé d'un manipulateur de mouvement à 6 axes qui permet à la machine d'inspecter plusieurs points de la plaquette simultanément. L'outil TENCOR SURFSCAN SP 2 utilise des technologies de détection d'images multiples pour détecter des défauts dans une variété de masques et de plaquettes semi-conducteurs. Ces technologies comprennent l'imagerie en champ lumineux, l'imagerie en champ noir et la microscopie optique. L'imagerie Brightfield est utilisée pour l'inspection des masques binaires et des plaquettes, tandis que l'imagerie darkfield est utilisée pour les caractéristiques exposées et l'isolation des défauts. La microscopie optique permet l'inspection par défaut des plaquettes semiconductrices à motifs. L'actif est également équipé d'une interface utilisateur intégrée qui permet aux utilisateurs d'entrer facilement des paramètres de sondes, de sélectionner des paramètres de test et de définir la plage d'affichage pour différents types d'images. Le logiciel est également capable d'ajuster automatiquement les paramètres de test pour différentes images pour des résultats plus précis. De plus, le modèle comprend un mode de visualisation qui permet aux utilisateurs d'inspecter manuellement les zones suspectes de la plaquette ou du masque. L'équipement SURFSCAN SP 2 utilise un manipulateur de mouvement à six axes pour balayer avec précision plusieurs points de la plaquette ou masquer rapidement et efficacement. Le système permet également aux utilisateurs de prendre plusieurs mesures en un seul balayage. De plus, l'unité est conçue pour minimiser la contamination croisée entre les différents échantillons grâce à sa machine de gestion de l'air avancée. L'outil KLA SURFSCAN SP 2 est conçu pour être convivial, offrant aux utilisateurs une interface graphique intuitive. L'interface graphique permet aux utilisateurs d'examiner facilement les images capturées, de définir les alarmes et de surveiller les paramètres opérationnels. L'actif comprend également un certain nombre de fonctionnalités intégrées qui permettent aux utilisateurs d'analyser rapidement et avec précision les défauts, y compris l'analyse et la classification des signatures, l'isolement des défauts et l'analyse avancée des défauts. Globalement, KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 est un modèle avancé d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour une grande précision et répétabilité. L'équipement utilise un certain nombre de technologies de détection d'images pour détecter des défauts avec une résolution spatiale inférieure à un nanomètre, ainsi qu'un manipulateur de mouvement à 6 axes et une interface graphique intuitive pour un balayage et une analyse de données efficaces.
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