Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293759533 à vendre en France
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ID: 293759533
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Inspection system, 12"
EFEM
Carrier:
(3) Advantage SW CID, Phx, Shinko (Load port)
8 User-configurable LEDs to display the load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping: FOUP and detect wafer
Empty slots and cross-slotted wafer
Chamber:
Powder coat panels kit: 8"-12"
Vacuum option optical filter
Load port vacuum: Tripple, 12"
FIMS Application:
Edge exclusion: 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incident illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY Coordinates
IDM SP2
PC:
Processer: Intel Xeon CPU 3.20 GHz
Handler: SecondaryUI, Phoenix, SP2
RAM Memory: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
3.5" Floppy
Facilities:
CDA: > 28.3 Nl/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, >-700 mm Hg
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement de pointe d'inspection des masques et des plaquettes utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour détecter les défauts et assurer la qualité des photomasques et des plaquettes pendant le processus de fabrication. Ce système innovant combine une technologie de pointe avec une grande précision pour fournir des capacités d'inspection approfondies, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de maintenir une production à haut rendement et de répondre à des normes de qualité strictes. Au cœur de l'unité KLA Surfscan SP2 se trouve sa technologie d'imagerie sophistiquée, qui utilise des optiques et des capteurs avancés pour capturer des images haute résolution des surfaces des masques et des plaquettes. Ces images sont ensuite analysées à l'aide d'algorithmes et de logiciels puissants pour détecter et classer divers types de défauts, y compris les particules, les écarts de motifs, et d'autres anomalies qui peuvent affecter la performance et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de TENCOR SURFSCAN SP 2 est sa capacité à inspecter les masques et les plaquettes au niveau microscopique, en s'assurant que même les plus petits défauts sont identifiés et classés avec précision. Ce niveau de précision est crucial dans l'industrie des semi-conducteurs, où la taille et la densité des motifs de circuits continuent de diminuer, rendant de plus en plus difficile la détection de défauts avec les méthodes d'inspection traditionnelles. SURFSCAN SP 2 est équipé de multiples modes d'inspection, permettant aux utilisateurs de personnaliser le processus d'inspection en fonction des exigences spécifiques de leurs processus de fabrication. Ces modes comprennent le champ lumineux, le champ noir et l'imagerie hybride, chacun offrant des capacités uniques pour détecter différents types de défauts et optimiser les performances d'inspection. En outre, Surfscan SP2 dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de mettre en place et d'exécuter des inspections efficacement, rationalisant le processus d'inspection et minimisant les temps d'arrêt dans la production. La machine offre également des capacités automatisées de révision et de classification des défauts, permettant aux utilisateurs d'identifier et d'analyser rapidement les défauts sans intervention manuelle, améliorant ainsi la productivité et le rendement. En plus de la détection des défauts, TENCOR Surfscan SP2 peut également effectuer des mesures de dimensions critiques, fournissant des données précieuses sur la taille et la forme des caractéristiques sur les masques et les plaquettes. Ces informations sont essentielles pour garantir l'exactitude des dispositifs semi-conducteurs et maintenir le contrôle des processus de fabrication. Globalement, KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 est un outil d'inspection de masque et de plaquette de pointe qui offre des capacités inégalées pour détecter les défauts, assurer la qualité des dispositifs semi-conducteurs et améliorer l'efficacité de la production dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa technologie d'imagerie avancée, ses multiples modes d'inspection et son interface conviviale en font un outil puissant pour les fabricants de semi-conducteurs qui s'efforcent d'obtenir un rendement et une fiabilité élevés dans leurs processus.
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