Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608 à vendre en France
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ID: 293807608
Inspection system
Throughput: <37 nm
UV Laser
Modes:
Standard throughput
High sensitivity
Oblique illumination
Equipped with powder coat painted panel
PHOENIX Dual FIMS Vacuum wafer handler, 12"
Power inlet
Optical filter
XY Coordinates
Edge exclusion, 2 mm
IDM
4-Color light tower (Red, Yellow, Green, Blue)
XY Calibration wafer, 12"
Dryer
Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu spécifiquement pour les processus de fabrication des plaquettes et des dispositifs semi-conducteurs. Ce système avancé permet aux fabricants d'inspecter de façon critique les masques et les plaquettes à des débits élevés et de détecter les défauts microscopiques lors de la fabrication des plaquettes ou des dispositifs. KLA Surfscan SP2 dispose de technologies d'imagerie en champ lumineux et en champ sombre, lui permettant de détecter même les plus petits défauts présents sur les plaquettes. Ces défauts peuvent aller de trous d'épingle, rayures et particules à des protubérances, marques et distorsions. En outre, l'unité peut détecter d'autres irrégularités sur les plaquettes comme l'accumulation de matériaux étrangers, les taches et les zones de dommages pré-gravure. La machine comprend également une fonction d'analyse d'image spécialisée qui permet aux fabricants d'identifier et de classer les défauts détectés avec un haut niveau de précision. TENCOR SURFSCAN SP 2 est équipé d'une interface utilisateur intuitive pour faciliter la gestion des opérations par les opérateurs. L'appareil dispose d'un grand écran tactile HD de 21 pouces, qui est conçu pour aider les utilisateurs à configurer facilement les paramètres d'inspection. La précision de la position de contact de l'outil est très bonne, avec une résolution de 0,5 μ m, ce qui la rend apte à contrôler même les plus petites tailles de filière. TENCOR Surfscan SP2 est également très fiable, car il est équipé de la dernière technologie d'économie d'énergie. L'actif y parvient en mettant automatiquement en état de veille après utilisation, puis en ne redémarrant que lorsque cela est nécessaire. Cela aide les fabricants à réduire les coûts énergétiques et prolonge également la durée de vie du modèle. L'équipement est également conçu pour un large éventail d'applications et est conforme aux normes du système de qualité SEMI. Surfscan SP2 est un choix idéal pour les fabricants qui cherchent à inspecter leurs plaquettes et leurs masques avec un haut niveau de précision et aussi pour réduire leur consommation d'énergie. La haute performance de l'unité en fait un choix idéal pour les fabricants à la recherche d'une machine fiable et efficace pour inspecter leurs plaquettes et masques.
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