Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814035 à vendre en France

ID: 293814035
Inspection system UV laser Defect map Real-Time Defect Classification (RTDC) Operating System: Windows Advanced Illumination Optics Powder Coat Painted Panels Phoenix Dual FIMS Vacuum Wafer Handler (PP), 12" 4‑Color Light Tower (RGB) Ion Shower for Phoenix Dual XY Calibration Wafer, 12" Dryer for COE.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un masque et un équipement d'inspection de wafer basé sur SEM (CD). C'est un système compact et sans entretien développé pour l'inspection automatisée des masques et plaquettes avant. KLA Surfscan SP2 est équipé d'une unité d'imagerie sophistiquée, capable de générer des images de haute qualité de même les structures de masque et de plaquettes les plus complexes. Cette machine est constituée d'un microscope électronique à balayage à émission de champ monochromé (FE-SEM), d'un étage d'échantillon cryogénique et d'un étage XYZ motorisé pour un positionnement précis de l'échantillon. Le FE-SEM fonctionne avec une résolution de 0.2nm et peut détecter des structures aussi petites que 4nm. Son logiciel automatisé intégré de mesure et d'analyse permet à l'utilisateur d'accéder aux informations des différentes couches, ce qui contribue au processus d'évaluation de la qualité des échantillons. Par ailleurs, TENCOR SURFSCAN SP2 assure un contrôle précis du courant de faisceau et de l'outil de refroidissement pour protéger les échantillons contre les dommages. Surfscan SP2 dispose également d'une interface utilisateur intuitive pour permettre aux utilisateurs de configurer et de commencer l'inspection rapidement et facilement sans avoir à se référer au manuel. En outre, l'actif fournit également la fiabilité et la performance répétable pour assurer l'exactitude des résultats. En outre, TENCOR Surfscan SP2 offre un processus rapide et fiable pour l'inspection des échantillons. En utilisant la boucle de rétroaction de focalisation automatisée, le modèle peut rapidement ajuster sa focalisation et obtenir des résultats précis. L'équipement est fourni avec une grande variété d'extensions, qui comprennent l'examen des défauts, l'exportation des données, la gestion des bases de données d'examen et le contrôle des processus. KLA SURFSCAN SP 2 est idéal pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs telles que l'inspection des masques, l'examen des plaquettes, la vérification de la disposition des circuits, la simulation de lithographie, l'analyse de superposition, le contrôle des processus et l'analyse des défaillances. Il supporte différentes technologies comme PDK, BiCMOS et DRAM et peut être utilisé pour inspecter plusieurs couches de structures. Le système est capable d'intégrer AutoAdjust, un outil puissant basé sur des règles utilisé pour la mesure automatisée des fonctionnalités et le signalement des défauts. En outre, il peut également être utilisé pour la classification des défauts et la métrologie des plaquettes. Dans l'ensemble, SURFSCAN SP 2 est une unité fiable et efficace d'inspection des masques et plaquettes qui est capable d'effectuer l'analyse la plus complexe. Ses fonctionnalités et capacités avancées en font le choix idéal pour toutes les industries de semi-conducteurs.
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