Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9228176 à vendre en France

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ID: 9228176
Style Vintage: 2006
Particle measurement system, 12" P/N: 0074965-000 Sensitivity modes includes: Standard throughput inspection mode High throughput inspection mode High sensitivity inspection mode Advanced illumination optics supports following mode: Normal illumination Oblique illumination Enables qualification of current and next-generation substrates: SOI Strained SOI Strained SI Optimized sensitivity Throughput: - < 37nm defect sensitivity on polished bare silicon Qualification and monitoring of process tools: 90, 65, & 45 nm technology nodes Components included: UV Laser Defect map and histogram with zoom Micro view measurement capability Surf image Real-time defect classification (RTDC) Operating system: Microsoft Windows XP Book on board Operations manuals Puck handling: 300/200mm Equipped with powder coat painted panels Phoenix dual FIMS vacuum wafer handler, 12" (pp) Secondary UI for bulkhead installation Configured for MCCB (us/eu) power inlet Configured for IC/OEM mfg surf quality recipe Optical filter Enhanced XY coordinates: Standard classification LPD-N classification LPD-ES classification Grading and sorting 20 Degree 40 Degree Rough films Enabled: Haze Haze normalization Haze analysis Haze line classification IDM SP2 Edge exclusion: 2mm 4 Color light tower (RYGB) Gem/secs and HSMS E39 Object services: E40 Process job management E94 Control job management E90 Substrate tracking E87 Carrier management services (based on e39) Control jobs (E94 Based on E39) Substrate tracking (E90 Based on E39) (2) Advantage radio frequency (RF) carrier ID readers: Identifies name of carrier (FOUP) Intended for use with phoenix handler and isoport loadports Reader required for each FOUP loadport 2006 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection de masques et plaquettes conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ce système permet de contrôler la qualité de l'image, la fidélité des motifs et l'inspection approfondie des défauts pour la production de circuits intégrés et d'autres dispositifs microélectroniques. Il offre une vitesse d'imagerie et une résolution inégalées pour aider à garantir que les images de masque et de plaquette de la plus haute qualité sont produites. KLA Surfscan SP2 est alimenté par un ensemble d'optiques avancées et de détecteurs haut de gamme couplés à une unité informatique haute puissance pour le traitement rapide. Il utilise la technologie confocale interférométrique laser (LCT) pour capturer et analyser les défauts de taille des sous-pixels. La machine utilise également des lentilles d'analyse 3D brevetées et des détecteurs d'image haute définition pour augmenter la précision des inspections. TENCOR SURFSCAN SP 2 est équipé d'un ensemble de normes d'étalonnage pour une variété de matériaux de plaquettes tels que Al2O3, InP, SiGe, etc. Cela permet de s'assurer que les meilleurs résultats d'imagerie sont atteints au cours de l'inspection. L'outil peut également détecter une variété de motifs 3D anormaux sur les masques ou les plaquettes, permettant une meilleure détection des défauts subtils et des variations. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 est conçu pour fournir une solution complète d'inspection des masques et plaquettes. Cela comprend la capacité d'inspecter les patrons de Moire, les fiduciaires, les motifs de CD et les micro-patrons jusqu'à 0,12 microns. Toutes ces caractéristiques peuvent être inspectées en temps réel, ce qui supprime la nécessité d'une analyse post-inspection. En outre, l'actif peut détecter des défauts d'oxyde et de particules, l'amincissement ou l'épaississement, et d'autres défauts sous-micron film. Pour plus d'analyse, TENCOR Surfscan SP2 est équipé d'un grand nombre de fonctions d'image, y compris la loupe de verre, la sélection de zone, le zoom, la superposition de ligne de guidage et la mesure de profil. Il comprend également une gamme de filtres, tels que l'inversion de couleur, timestamp, niveau de mise au point, et la détection des bords. Chacune de ces fonctions est conçue pour améliorer la précision et la rapidité du processus d'inspection. Dans l'ensemble, Surfscan SP2 est un modèle puissant et fiable d'inspection des masques et des plaquettes pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une vitesse et une résolution de pointe pour un large éventail de tâches d'analyse et d'inspection d'images, ce qui en fait un excellent choix pour le contrôle de la qualité et l'optimisation de la production.
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