Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763 à vendre en France
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Vendu
ID: 9240763
Taille de la plaquette: 12"
Particle measurement system, 12"
Operating system: Windows XP SP3
Carrier:
Phx, SHINKO (Load port)
(8) User-configurable LEDs to display load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping
Chamber:
Powder coat panels kit
Vacuum option: 200/300mm
Load port vacuum: 12" Dual FIMS
Hardware:
5-Color light tower (RBYGW)
Ethernet
E84 Enabled for OHT and AGV/RGV
GEM/SECS and HSMS
Handler secondary UI, Phoenix, SP2
Main computer:
Intel®Xeon™ CPU 3.20 GHz
Memory: 3.5 GB RAM
DVD- ROM
Mouse
Keyboard
Floppy, 3.5"
FEC Computer:
Intel®Pentium®4 CPU
512 MB RAM Memory
Applications:
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY coordinates
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Options:
Haze
IC / OEM Mfg surf quality recipe
Facilities:
Power: 208 VAC, 3 W-N
CDA: >28.3 Nl/min, >6.6791 kg/cm²
Vac: >28.317 l/min, >-700 mm Hg.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes qui est utilisé pour détecter et corriger les défauts indésirables sur les masques et les plaquettes. KLA Surfscan SP2 utilise des composants optiques, électriques et mécaniques pour détecter et corriger des défauts sur une variété de types de plaquettes. L'inspection optique comprend à la fois le champ lumineux et l'imagerie en champ sombre pour détecter avec précision les défauts. Les caractéristiques électriques utilisent des méthodes de contact et sans contact pour mesurer les propriétés électriques telles que la résistance, la capacité et le courant. Les caractéristiques mécaniques permettent à TENCOR SURFSCAN SP 2 de changer de direction pour des mouvements et des réglages précis tout en inspectant la plaquette. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 a intégré des techniques telles que la variation de focale et le traitement d'image pour inspecter la plaquette et identifier et localiser les défauts potentiels. La variation de focalisation fournit une vue tridimensionnelle de la plaquette, permettant au système de détecter avec précision les défauts des sous-microns. Le sous-système d'imagerie utilise une caméra CCD précise et haute résolution pour capturer des images de la plaquette pour une analyse plus approfondie. KLA SURFSCAN SP 2 dispose également d'un logiciel avancé qui est utilisé pour analyser les données de chaque inspection et afficher les résultats dans un format facile à lire. Le logiciel dispose d'une série d'outils qui permettent aux utilisateurs de filtrer et d'identifier les défauts spécifiques présents sur la plaquette. L'unité dispose également d'une fonction d'automatisation intégrée qui peut être utilisée pour établir des inspections régulières pour différents types de plaquettes et les courses. En outre, Surfscan SP2 est conçu avec la commodité et la sécurité à l'esprit. Il est équipé d'une machine automatisée facile à installer et à utiliser. L'outil est hautement personnalisable, permettant aux utilisateurs d'ajuster les paramètres en fonction de leurs besoins spécifiques. L'actif est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, tels qu'une serrure à clé et un interrupteur d'arrêt d'urgence, pour assurer un environnement de fonctionnement sûr. Globalement, TENCOR Surfscan SP2 est un modèle polyvalent conçu pour inspecter les plaquettes et détecter et corriger les défauts indésirables. Équipé de composants optiques, électriques et mécaniques, l'équipement est capable de détecter avec précision les défauts des sous-microns sur une variété de types de plaquettes. Le logiciel avancé permet également aux utilisateurs de filtrer et d'analyser les données afin d'identifier rapidement les défauts. Avec ses fonctionnalités automatisées et de sécurité, SURFSCAN SP 2 offre un système d'inspection efficace et sécurisé des masques et des plaquettes.
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