Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809 à vendre en France
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Vendu
ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes entièrement automatisé. Il peut effectuer une variété de différents types d'inspection des masques et des plaquettes, y compris l'inspection et la qualification des défauts. Le système est capable d'inspecter une large gamme de tailles de plaquettes, de la filière à la plaquette complète. Il est conçu pour être à la fois flexible et évolutif, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'unité selon leurs besoins exacts. KLA Surfscan SP2 utilise les technologies exclusives KLA Brightfield, Darkfield et Contrast Inspection pour atteindre le plus haut niveau de détection de défauts disponible aujourd'hui. Cette technologie de pointe permet à la machine de détecter des défauts aussi petits que 0.1um. L'outil offre un choix de différents modes de contraste, lui permettant de distinguer différents types de défauts ainsi que d'identifier des zones faiblement structurées. L'actif fonctionne au moyen de deux CCD ; une caméra de champ de 5,6 mégapixels et une caméra de tranche de 1280x800 mégapixels. La caméra de champ est utilisée pour inspecter le masque tandis que la caméra de la plaquette est utilisée pour inspecter la plaquette. La combinaison des deux CCD, ainsi que des algorithmes d'inspection propriétaires TENCOR, permet au modèle de détecter rapidement et avec précision les défauts sur l'ensemble de la plaquette. TENCOR SURFSCAN SP 2 est également équipé d'un équipement d'alignement bleu plaquette qui assure que la plaquette et le masque sont alignés avec précision pendant le processus d'inspection. De plus, le système dispose de paramètres d'inspection réglables, permettant aux utilisateurs d'adapter l'inspection à leurs besoins spécifiques. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2 offre également des capacités de capture de données embarquées. Cela permet aux utilisateurs de saisir et d'examiner les données d'inspection pour une analyse plus approfondie. En outre, l'unité dispose d'une machine de traitement à grande vitesse qui permet à l'outil de traiter des données jusqu'à 5x plus rapidement que les systèmes compétitifs. Surfscan SP2 est un outil avancé d'inspection automatisée des masques et des plaquettes qui offre des capacités puissantes pour la détection et la qualification des défauts des masques et des plaquettes. Avec sa caméra de champ de 5,6 mégapixels, sa caméra de plaquette 1280x800 mégapixels, ses paramètres d'inspection réglables et ses capacités de capture de données embarquées, il offre un niveau de flexibilité et de performance inégalé. TENCOR Surfscan SP2 est le modèle idéal pour l'inspection des défauts à haut volume et à haut rendement.
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