Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9314791 à vendre en France
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Vendu
ID: 9314791
Taille de la plaquette: 12"
Inspection system, 12"
Scan module
Blower
Processor: 2.2 GHz
Operating system: Windows XP
Oblique incident
Edge cut: 2 mm
STD Throughput
Enhanced XY Co-ordinate
Defect classification: Slipline, Scratch and LPD-N
Haze normalization
Haze analysis
Optical filter
Space filter: 20°
Space filter: 40°
Space filter rough film
Options:
Part number / Description
0088725-000 / Normal incident
0088727-000 / High sensitivity mode
0088727800 / High throughput mode
0088732-000 / GEM/SECS
0088733-000 / HSMS
0088731-000 / NFS Client
0088737-000 / E84 Automation support, 12"
0088738-000 / E87 Automation support, 12"
0088739-000 / E40/E94/E90 Automation support, 12"
0088748-000 / LPD-E/S Classification
0088749-000 / Grading / Sorting
0088740-000 / Printer
J00012 / Printer rack
- / BSIM
- / Pato-light
Wafer thickness:
0.725 mm, 8"
0.775 mm, 12"
Sensitivity:
High sensitivity:
Oblique:
Wide: 37 nm
Narrow: 60 nm
Normal:
Wide: 61 nm
Narrow: 78 nm
STD Sensitivity:
Oblique:
Wide: 42 nm
Narrow: 70 nm
Normal:
Wide: 68 nm
Narrow: 83 nm
High throughput:
Oblique:
Wide: 47 nm
Narrow: 80 nm
Normal:
Wide: 72 nm
Narrow: 93 nm
Throughput:
High sensitivity mode:
Edge handling dual FIMS: 15 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 24 WPH
Vacuum chuck 8": 40 WPH
Edge handling 4 x 8": 32 WPH
STD Mode:
Edge handling Dual FIMS: 30 WPH
Vacuum chuck Dual FIMS/Open: 49 WPH
Vacuum chuck, 8": 68 WPH
Edge handling 4 x 8": 55 WPH
High throughput mode:
Edge handling dual FIMS: 58 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 75 WPH
Vacuum chuck, 8": 90 WPH
Edge handling 4 x 8": 80 WPH
Lighting smooth
DPSS Laser : 350 mW, 355 nm
Vacuum:
Scan module
Pressure: -24 ~ -30 Hg
Flow: 1 SCFM
FOUP Opener (Dual FIMS):
Pressure: -24 to -24 Hg
Flow: 1 SCFM
Compressed air:
Scan module
Pressure: 85-105 psi
Flow: 4 SCFM
Condensation: -29°
Edge end effecter:
Pressure: 90~120 psi
Wafer handling:
Edge handling
Vacuum chuck
Data output:
High resolution TFT color flat panel display
USB
Parallel port
Serial port
DVD+RW Drive
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Network connector: 10/100 Base-T
ISDN Connector
Voltage: AC 200 V±10%
Frequency: 50-60 Hz ± 5%
Power supply: 200 V, Single phase, 2.88 kVA.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes très avancé utilisé pour garantir la qualité et la cohérence de la production de puces semi-conductrices. Le système utilise une source lumineuse d'éclairage laser avec une unité de détection d'image haute résolution pour capturer des images de caractéristiques sur des plaquettes, des masques et des réticules à des niveaux de résolution invisibles dans les systèmes précédents. KLA Surfscan SP2 mesure des tolérances de 0,5 micron sur les réticules les plus complexes pour garantir la plus grande précision et précision, et il peut inspecter les tailles de fonctionnalités au-delà de celles des systèmes d'inspection optique classiques. La machine utilise une technique brevetée « laser plus obturateur » pour acquérir des images claires des plus petites caractéristiques sur le masque ou la plaquette dans un champ de vision souhaité, et son outil à lentille dynamique permet à l'utilisateur d'amplifier la résolution jusqu'à x128. De plus, la technologie avancée de traitement d'images à haute sensibilité de l'actif permet d'obtenir des images très précises de toutes tailles de champ jusqu'à 55 décibels. TENCOR SURFSCAN SP 2 est conçu avec un fonctionnement facile à l'esprit, avec une interface conviviale et des contrôles graphiques intuitifs qui permettent une configuration et un fonctionnement simples. Il est équipé d'un algorithme de Feedback (FB) pour l'isolation rapide et précise des défauts, et d'une technique brevetée d'isolation des défauts difficiles, tels que les « empreintes » et les « rayures » traditionnelles. Pour la commodité de l'utilisateur, le modèle est livré avec une suite d'outils logiciels avec la capacité de générer des rapports de données de numérisation dans différents formats de fichiers, y compris txt, csv, et des fichiers html. KLA SURFSCAN SP 2 est un équipement compact, entièrement automatisé, évolutif sur le terrain et nécessitant une assistance minimale, ce qui en fait un choix d'inspection idéal pour les besoins critiques de masquage et d'inspection des plaquettes. Il est conçu pour des environnements de production de qualité critique et de volume élevé, et sa combinaison efficace de logiciels et de matériel fournit le plus haut niveau de précision, de fiabilité et de vitesse.
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