Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9398740 à vendre en France
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ID: 9398740
Style Vintage: 2011
Inspection system
Semi notch, 12"
Carrier:
(3) Load ports:
Phx
SHINKO
8-Configurable LED to display load ports
Load/unload button: Manual
Wafer cassette mapping: FOUP, 12"
Empty slots and cross slotted wafer
Vacuum load port: FIMS, 12"
Light tower (RBYGW)
Facilities:
CDA: > 28.3 NL/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, > -700 mm Hg
Edge exclusion, 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (Standard / Low)
XY Co-ordinates
IDM SP2
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
Grading and sorting
Spatial filter: 20°
Spatial filter: 40°
Spatial filter (Rough films)
Spatial filter (Back)
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Haze
Haze normalization
Haze analysis
IC/OEM
Ethernet:
NFS Client
E84 enabled for OHT and AGV/RGV
E87 (Based on E39)
GEM/SECS and HSMS
E40 / E94 / E90 / E116
Main computer:
Intel Xeon CPU 3.20GHz
RAM: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
FEC Computer:
CPU: Intel Pentium 4
RAM: 512 MB
Operating system: Windows XP SP3
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes de pointe, développé pour fournir les niveaux de performance les plus élevés dans les applications de reconnaissance automatique de modèles netlist et de gestion des défauts. Il offre un contrôle complet des conditions de surface et de la détection des défauts, avec la capacité de surveiller la présence globale des plaquettes et de détecter les changements subtils de profil, y compris la présence et les caractéristiques des microlithes et de l'interférence des particules. En combinant des systèmes optiques de pointe et une technologie de traitement d'image innovante, KLA Surfscan SP2 permet aux utilisateurs d'inspecter les modèles, de détecter les défauts, d'identifier les non-irrégularités et de classer les anomalies pour caractériser les conditions de surface. TENCOR SURFSCAN SP 2 est un système d'inspection spécialement conçu pour les applications industrielles exigeantes de semi-conducteurs, car il supporte un débit élevé et offre une analyse rapide et précise des plaquettes simples et multiples. Il est équipé d'un certain nombre de fonctionnalités avancées, telles que l'imagerie multi-niveaux, la binarisation, l'analyse de forme, et la capacité de sélectionner des filtres optiques personnalisés pour une meilleure clarté d'image et la reconnaissance des caractères. Ces filtres permettent de détecter de très petits motifs sur la plaquette, en analysant les défauts et les irrégularités, et sont réglables pour les environnements changeants. L'unité offre également des capacités avancées de contrôle de qualité de haut niveau, avec la capacité de mesurer, détecter et corriger sélectivement les paramètres de surface pour assurer un dépôt, un masquage et un profil de résistance appropriés de la plaquette. La machine peut scanner et inspecter des plaquettes composées d'une variété de matériaux, y compris le verre, l'aluminium, le silicium et le quartz. Son outil intégré de contrôle de mouvement 5 axes est capable de positionner avec précision l'échantillon sur la scène et de scanner directement sur le dispositif, réduisant les erreurs d'alignement et la possibilité d'erreurs humaines pouvant conduire à des défauts de matériau ou de produit. L'actif offre également une cartographie automatisée des plaquettes, stockant des informations détaillées sur chaque plaquette et offrant différents niveaux d'analyse avec une mémoire intégrée et des tampons qui permettent à d'autres applications de récupérer les données rapidement. De plus, les algorithmes automatisés de détection des défauts du modèle permettent de détecter des défauts trop petits pour que l'œil humain puisse les voir, ce qui en fait un outil efficace et puissant pour identifier et éliminer rapidement les défauts d'un produit avant d'entrer sur le marché. Cela permet aux fabricants d'optimiser leurs processus de production, en veillant à ce que leurs produits répondent aux normes élevées de qualité. En outre, son interface conviviale et son logiciel intuitif offrent un contrôle complet des fonctions d'inspection pour examiner, analyser et corriger rapidement les données d'inspection. En conclusion, TENCOR Surfscan SP2 est un équipement avancé et complet pour l'inspection des masques et des plaquettes et la gestion des défauts. Il offre un balayage rapide, une analyse précise et un contrôle étendu des conditions de surface, permettant aux utilisateurs de détecter et d'éliminer les défauts des produits rapidement et efficacement.
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