Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322 à vendre en France

ID: 293594322
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Wafer surface inspection system, 12" Heat exhaust blower (2) Oblique incidents (2) ST Modes (2) Edge exclusion area: 2 mm Handling options: (2) Vacuum chuck triple FIMS handlers (3 x 300 mm) (2) Dual scans: Normal and oblique (2) SURF monitor (2) Fluorescence optical filter (2) Spatial filters: 20°, 40° (2) Environmental optics kits (COE) (2) Cool white panels 2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour assurer la détection et la classification des défauts des semi-conducteurs haute résolution et haute vitesse. Le système est basé sur la technologie d'imagerie réfléchissante brevetée KLA et est adapté aux exigences exigeantes de la production de semi-conducteurs. Les puissantes capacités d'inspection des masques à panneaux plats et des plaquettes de silicium de la SP3 permettent aux paliers de plaquettes et aux générateurs de motifs de produire des produits d'une qualité et d'une fiabilité irréprochables. L'unité fournit une inspection avancée des masques et des plaquettes avec une sensibilité, une précision et une flexibilité inégalées. KLA Surfscan SP3 combine des capacités puissantes d'acquisition d'image, de traitement d'image et de classification des défauts. La machine dispose d'une gamme de techniques avancées d'acquisition d'images, telles que Quad et Reduction Variations, qui permettent une haute résolution de défaut et une imagerie de surface avancée. TENCOR Surfscan SP3 dispose également d'une optique haute résolution, haute densité de pixels et pas de zones mortes grâce à la position uniforme des pixels. Surfscan SP3 dispose également d'un certain nombre d'algorithmes de détection puissants et d'outils d'analyse interactifs. Les algorithmes avancés permettent une analyse précise, tandis que l'ensemble d'outils interactifs permet aux utilisateurs de modifier, personnaliser et vérifier rapidement les résultats des inspections. KLA/TENCOR Surfscan SP3 est conçu pour prendre en charge plusieurs configurations d'utilisateurs, y compris des configurations pour un seul utilisateur et de plus grands réseaux multi-utilisateurs. L'outil peut également être intégré à d'autres systèmes pour améliorer l'efficacité et la productivité. KLA Surfscan SP3 est équipé d'un certain nombre de capacités avancées de contrôle des plaquettes qui permettent davantage de performances haut de gamme. L'actif comprend une étape précise et la traduction de l'ajustement du demi-réticule pour des mesures et un alignement précis, ainsi qu'un rapport d'avancement par lots pour un contrôle renforcé de l'assurance de la qualité. Le modèle comprend également une adaptation automatique des motifs pour la répétabilité à grande vitesse, une correction automatique des déformations pour améliorer la planéité des plaquettes, et une source laser dédiée pour une répétabilité et un rapport coût-efficacité supérieurs. Enfin, TENCOR Surfscan SP3 dispose d'une interface graphique en ligne qui permet aux utilisateurs de contrôler facilement leur séquence d'inspection et de visualiser les résultats. L'interface graphique fournit également aux utilisateurs un accès sans précédent aux fonctionnalités, paramètres et rapports de l'équipement. La suite de rapports robuste permet aux utilisateurs d'accéder rapidement aux informations et aux informations sur les performances du système, faisant de Surfscan SP3 un outil puissant et efficace pour l'inspection des masques et des plaquettes.
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