Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9364671 à vendre en France

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ID: 9364671
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Particle measurement system, 12" Scan module Image Computer (IMC) Heat exhaust blower Normal and oblique scan Partial dual scan (Secondly inspection region) SURF Monitor Fluorescence optical filter Spatial filters: 20°-40° Environmental optics (COE) kit Cool white panels (3) Vacuum chucks: Triple FIMS handler, 12" Options: Oblique incident ST Mode Edge exclusion area, 2 mm Defect classification functions: Slipline Scratch Cluster LPD-N LPD-ES RBB Part number / Options 0274498-000 / Normal incident 0274501-000 / HT Mode 0274499-000 / HS Mode 0262045-000 / Large Particle Mode (LPM) 0395928-000 / Custom film generator 0302187-000 / Silica wafer set, 12" 0016628-000 / XY Coordinate standard wafer, 12" 0356234-000 / SP3 Haze normalization wafer, 12" 2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour l'inspection automatisée des circuits semi-conducteurs. Le système intègre des capacités avancées de métrologie optique, de reconnaissance des défauts et de classification des défauts dans son flux de travail automatisé d'inspection des masques et des plaquettes. Le processus d'examen des défauts optiques utilise plusieurs techniques d'imagerie, y compris la microscopie laser, la scatterométrie laser et la gravure chimique, en combinaison avec des techniques d'algorithme automatisé avancées pour identifier avec précision les défauts et les classer correctement. L'unité a une capacité élevée, ce qui lui permet d'inspecter jusqu'à 40 000 wafer die par heure. La machine fournit également une gamme complète de fonctions d'examen d'image et de classification. Ces fonctions permettent aux utilisateurs d'examiner les images de défauts à haute résolution et de les classer en fonction de la taille, de la forme, de l'emplacement et d'autres caractéristiques, ce qui permet aux opérateurs d'identifier rapidement les défauts et de déterminer comment les corriger. Un moteur intégré de classification des défauts est également inclus, permettant aux opérateurs d'attribuer automatiquement des classes de défauts. L'outil est construit sur une plate-forme FPGA haute performance et est compatible avec plusieurs bases de données de défauts standard de l'industrie. Il dispose d'une large gamme de fonctionnalités avancées qui permettent aux utilisateurs de personnaliser le processus d'inspection en fonction de leurs besoins spécifiques. L'actif est conçu pour réduire les fausses alarmes et fournir des résultats exacts en temps opportun. Du point de vue de la sécurité, le modèle KLA Surfscan SP3 est conçu pour répondre aux dernières réglementations de sécurité, y compris les directives RoHS et DEEE de l'Union européenne. L'équipement a été certifié conforme aux règlements de sécurité applicables et est accompagné d'une garantie complète sur sept ans. Globalement, TENCOR Surfscan SP3 est un système avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui combine la métrologie optique, la reconnaissance des défauts et la classification des défauts dans une plate-forme automatisée et performante. Avec sa gamme complète de fonctionnalités, l'unité peut être utilisée pour identifier rapidement et avec précision les défauts et les classer pour les processus de réparation et d'évitement les plus efficaces.
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