Occasion KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9383537 à vendre en France

KLA/TENCOR Surfscan SP3 est un équipement automatisé d'inspection des plaquettes et masques conçu pour augmenter le débit de l'ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs. Le système offre des fonctionnalités avancées pour maximiser le débit des plaquettes, minimiser la perte de rendement et fournir une précision et une précision sans précédent. KLA Surfscan SP3 utilise l'autofocus Intrafield adaptatif et la technologie de capture d'image haute définition pour obtenir une précision et une répétabilité sans précédent pour le balayage de zone à bord. Utilisant une optique haut de gamme et un étage motorisé, TENCOR Surfscan SP3 peut capturer en continu plusieurs images par champ de vision sur l'ensemble du masque ou de la plaquette. En utilisant des algorithmes propriétaires de focalisation de sous-pixels, l'unité peut facilement basculer entre plusieurs champs de vue sans jamais avoir à se recentrer. Les capacités de balayage sont également exploitées pour permettre une détection et une classification rapides et précises des défauts avec la fonction de reconfirmation hybride de la machine. En plus des capacités avancées d'imagerie et de numérisation, la fonction de vérification des bords multi-étages de Surfscan SP3 permet une détection et une mesure des bords détaillées. En analysant plusieurs images, l'outil correspond aux motifs pour une précision accrue lors de la détection des motifs de résistance manquants ou des chevauchements de plaquettes. KLA/TENCOR Surfscan SP3 réduit le risque d'erreurs dans la mesure de la taille critique avec son positionnement haute résolution et la détection de marques fiduciaires. Cette fonctionnalité utilise une table Penta Prism pour déplacer avec précision et précision la plaquette de gauche à droite et de haut en bas, ce qui permet l'enregistrement et le balayage exacts de la plaquette à la plaquette. De plus, la cartographie intelligente des défauts de KLA Surfscan SP3 permet d'augmenter le débit des plaquettes, car elle peut rapidement distinguer et classer les défauts. En raison des fonctionnalités et des capacités avancées, TENCOR Surfscan SP3 est le premier atout de son genre à fournir une capacité complète de détection des défauts, du balayage de zone à bord à la discrimination de taille. Grâce à un modèle aussi innovant et fiable, les fabricants de semi-conducteurs peuvent facilement minimiser la variabilité des processus, réduire les goulets d'étranglement et économiser des coûts.