Occasion KLA / TENCOR TeraScan 586 #9025479 à vendre en France
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ID: 9025479
Style Vintage: 2003
Die-to-die reticle inspection system
Single 125 transmitted light pixel
S10 die to die scan speed configuration
COG test reticle
EPSM test reticle
Upgrades:
TeraPhase 501 Die to Die altPSM Capability. Includes: Single 125P transmitted light pixel; AltPSM test reticle
TeraFlux 505 Die to Die Flux Defect Capability. Includes: Concurrent operation with standard die to die mode; EPSM contact test reticle
SMIF RSP200 Integrated Loader
2003 vintage.
KLA/TENCOR TeraScan 586 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour détecter et caractériser rapidement les anomalies telles que les contaminants, les particules et les défauts des réseaux cristallins. Ce système offre une résolution spatiale et une sensibilité supérieures qui permettent une meilleure évaluation des risques et une meilleure caractérisation des défauts que les autres outils. KLA TeraScan 586 est un capteur haute résolution qui facilite l'imagerie topographique 3D, permettant aux opérateurs de détecter de petits défauts avec jusqu'à 1000x plus de sensibilité que les microscopes électroniques à balayage typiques ou les microscopes optiques. Le capteur haute résolution fournit des images de défaut qui peuvent être analysées et quantifiées facilement. TENCOR TeraScan 586 est équipé d'un détecteur de bord de filière à plaquette, qui lui permet de mesurer précisément les dimensions, la planéité et la hauteur de la plaquette en temps réel. La capacité unique de l'instrument à détecter et caractériser les défauts de surface (epi) et de sous-surface (SPM/AFM) assure une couverture complète des plaquettes. L'appareil est doté d'une interface tactile intuitive et conviviale qui permet aux opérateurs d'inspecter rapidement le côté avant et arrière des plaquettes ou des masques. La capacité QuickMap de TeraScan 586 effectue rapidement une caractérisation complète des processus et vérifie la fidélité des motifs sur un grand champ de vision pour une évaluation rapide de la plage de grossissement de 1000x. De plus, la machine comprend un module AFM avec des outils graphiques pour analyser et afficher les données. Cette caractéristique permet aux opérateurs d'identifier et de caractériser plus facilement les défauts de surface tels que les fosses isolées, les rayures et les nanoparticules. De plus, le KLA/TENCOR TeraScan 586 détecte automatiquement le désalignement et l'aberration des frontières causés par des contraintes thermo-mécaniques ou des variations de processus. KLA TeraScan 586 comprend des conditions environnementales réglables et des optiques de pointe pour garantir des mesures précises, peu importe l'application. En outre, il est livré avec une étape autofocus pilotée par un logiciel qui écoute et répond à toutes les irrégularités constatées lors de l'inspection, ce qui permet un meilleur contrôle de la qualité et un débit plus rapide. L'outil fournit des mesures et des inspections rapides et à haute résolution avec une précision de pointe dans l'industrie, ce qui permet un temps de commercialisation plus rapide et des économies de coûts. Avec une instrumentation supérieure, TENCOR TeraScan 586 est un outil d'inspection précis et fiable capable de détecter une large gamme de défauts adaptés aux masques et aux plaquettes.
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