Occasion KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280 à vendre en France

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ID: 9276280
Reticle inspection system, 12" Reticle transfer robot Load port (3) Line conditioners (2) UICs UM User console 2007 vintage.
KLA/TENCOR Terascan SL516-T5 est un masque de nouvelle génération et un équipement d'inspection de plaquettes qui fournit des résultats d'inspection très précis et fiables. Il peut être utilisé pour évaluer l'intégrité des processus de lithographie des plaquettes et des masques. Le système est équipé de lentilles qui sont conçues pour offrir un alignement rapide et précis, avec une résolution de 0,17 micron et une faible ouverture numérique (NA) de 0,80. Un mécanisme d'alignement automatisé assure un alignement parfait de la lentille et de l'étage et offre un aperçu extrêmement précis de la plaquette ou du masque. Pour les utilisateurs nécessitant une précision accrue, une NA supérieure facultative pouvant atteindre 1,2 est disponible. KLA Terascan SL516-T5 intègre les dernières technologies de métrologie pour permettre des vitesses d'inspection rapides. Les vitesses de numérisation sont jusqu'à 60X plus rapides que les systèmes prédécesseurs, ce qui se traduit par un débit global beaucoup plus rapide. L'unité est livrée avec un choix de capacités d'inspection manuelles, semi-automatisées ou entièrement automatisées. Les techniques automatisées permettent un étalonnage et une configuration faciles pour permettre un balayage automatisé d'un maximum de deux plaquettes à la fois. L'inspection manuelle permet aux utilisateurs d'effectuer des inspections détaillées et très spécifiques, particulièrement utiles pour détecter de rares défauts. Dans l'ensemble, TENCOR Terascan SL516-T5 fournit une machine d'inspection complète et économique des plaquettes et des masques, qui est adaptée à une variété de processus de lithographie. Son mécanisme d'alignement rapide et précis et ses capacités automatisées permettent une inspection rapide et précise, ce qui en fait un excellent choix pour les utilisateurs de tous les niveaux à la recherche d'un outil d'inspection rapide et fiable.
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