Occasion KLA / TENCOR Teron 610 #9291368 à vendre en France

KLA/TENCOR Teron 610 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes, conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie pour l'inspection et l'examen des photomasques et des plaquettes. Le système utilise deux systèmes d'imagerie et de projection ASML 5500 haute résolution, et un module d'imagerie en champ lumineux, pour capturer des images haute résolution du masque ou de la plaquette, et pour projeter l'imagerie sur le substrat pour une analyse de haute précision. Les capacités d'inspection optique automatisée (AOI) de KLA Teron 610 lui permettent de détecter des défauts, y compris des ruptures de ligne, des variations de largeur et des formes manquantes, jusqu'à 40nm. Les données d'image peuvent être stockées directement sur un serveur FTP, ce qui facilite le transfert pour les rapports et intègre les données de l'unité avec d'autres systèmes d'assurance qualité. TENCOR Teron 610 est également équipé de fonctions de révision automatique des défauts (ADR), qui permettent aux utilisateurs de classer, marquer et enregistrer les défauts rapidement. En outre, la machine peut détecter les défauts de décalage de motifs du côté arrière, permettant aux utilisateurs d'identifier tout motif non conforme sur le côté arrière du substrat. L'outil dispose de deux stations de microscope vidéo, permettant de capturer jusqu'à huit images pour une analyse détaillée d'un motif donné. L'actif offre également une reconnaissance de modèle avancée, lui permettant de détecter les défauts subtils que d'autres systèmes manqueraient. Il utilise l'imagerie haute résolution pour capturer des détails microscopiques qui étaient autrefois au-delà de la résolution des systèmes optiques automatiques et d'inspection des défauts. Enfin, Teron 610 utilise un filtre à défaut dynamique, permettant aux utilisateurs de concentrer leurs efforts d'inspection sur des types spécifiques de défauts. Dans l'ensemble, la combinaison de ces caractéristiques fait de KLA/TENCOR Teron 610 un modèle puissant et très avancé d'inspection des masques et plaquettes. Ses capacités d'imagerie haute résolution et d'inspection automatisée lui permettent de détecter des défauts aussi petits que 40nm, et ses fonctionnalités avancées de reconnaissance des motifs et de filtrage des défauts en font un équipement idéal pour assurer la précision des photomasques et des plaquettes les plus exigeants.