Occasion KLA / TENCOR Teron 610 #9378999 à vendre en France

ID: 9378999
Reticle inspection system, 12" 2012 vintage.
KLA/TENCOR Teron 610 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui est conçu pour fournir la détection de précision des défauts et l'analyse des modèles de photomasques avancés et des plaquettes. Il utilise une architecture exclusive pour obtenir une détection des défauts de bord et de motif très sensible, indépendamment des tolérances, des paramètres de processus et de la géométrie. Le système utilise une optique avancée et une source de rayonnement de scintillation, offrant une grande sensibilité pour une résolution d'imagerie de 0,35 micron. Un certain nombre de modes d'imagerie, tels que l'alignement des champs, le balayage rapide et la correction de l'ombre permettent une uniformité accrue des processus et une meilleure fidélité des motifs dans différents types de masques et de plaquettes. De plus, KLA Teron 610 utilise également une technique unique de balayage laser pour l'optimisation des profils de défauts et la reconnaissance des motifs de plaquettes. TENCOR Teron 610 inspecte une variété de notes photomasques et wafer avec au moins 0. Pas de 250 microns. La surface maximale inspectée par plaquette est de 12 pouces de diamètre, tandis que la surface maximale utilisable pour les masques est de 28 pouces. Le débit de l'unité est optimisé grâce à son masque automatisé et sa machine de manutention des plaquettes. Teron 610 fournit également une vaste gamme d'outils CAO de démonstration, d'inspection par étapes, d'analyse d'images en 3 dimensions et d'algorithmes de révision des défauts, ainsi que des algorithmes d'inspection géométrique pour détecter les broches mal alignées, les ponts et d'autres défauts subtils. L'interface utilisateur de KLA/TENCOR Teron 610 est conçue pour être intuitive, permettant une configuration facile, un fonctionnement efficace et un traitement par lots. L'interface utilisateur interactive offre également des fonctionnalités sophistiquées telles que l'examen des défauts, le calcul des statistiques et l'établissement de rapports, ainsi que la comparaison des résultats des inspections. L'outil est également livré avec des modules automatisés de révision et de reconnaissance de motifs, qui aident à identifier les défauts récurrents d'une plaquette à l'autre. Pour une sécurité accrue des données, KLA Teron 610 dispose d'une interface réseau optionnelle, qui permet aux opérateurs de contrôler le fonctionnement de l'actif à distance. Le modèle prend également en charge un certain nombre de systèmes de manutention de plaquettes tiers. Il s'agit d'un équipement d'inspection économique et fiable pour tout environnement nécessitant la détection et l'analyse de motifs de photomasques et de plaquettes.
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