Occasion KLEO LDI CM 20 #9246262 à vendre en France
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ID: 9246262
Laser directing imaging system
Model no: A12-003
Power supply: 3 x 400 V, 3 kW, 50 Hz.
KLEO LDI CM 20 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour identifier les marques non conformes sur les motifs utilisés en lithographie qui peuvent entraîner une perte de rendement. Le système comprend un sous-système d'imagerie numérique, un sous-système de diffraction lumineuse et un sous-système de gestion des données. Le sous-système d'imagerie numérique utilise un dispositif à couplage de charge (CCD) pour analyser des surfaces d'échantillons à haute sensibilité et dynamique. L'image est ensuite capturée et analysée à l'aide d'un logiciel sophistiqué. Le logiciel a la capacité de détecter, d'identifier et de mesurer les défauts, les disques et les grains. L'unité intègre également une source lumineuse lumineuse avec une sortie stable pour optimiser le contraste entre les régions sombres et lumineuses sur la surface balayée. Le sous-système diffraction de la lumière fournit plusieurs angles de balayage de la lumière de diffraction pour évaluer les caractéristiques de la surface. La source lumineuse est mobile pour mesurer diverses configurations de surface et angle d'incidence. Les données acquises de ce sous-système sont analysées pour identifier une gamme d'éléments non conformes pouvant conduire à une perte de rendement. Le sous-système de gestion des données permet aux utilisateurs d'accéder aux résultats d'analyse des sous-systèmes d'imagerie numérique et de diffraction lumineuse. Des fonctionnalités telles que la surveillance en temps réel et l'ajustement des paramètres de numérisation permettent aux utilisateurs d'assurer la qualité de chaque échantillon. Toutes les données recueillies sont stockées et organisées dans une base de données pour un rappel et une analyse efficaces. Dans l'ensemble, LDI CM 20 masque et wafer inspection machine est en mesure de fournir une évaluation rapide, précise et fiable des modèles de lithographie. L'outil hautement automatisé permet aux utilisateurs de trouver et de réduire les éléments de perte de rendement rapidement et de manière rentable, garantissant ainsi la conformité et la qualité globale.
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