Occasion KOBELCO / LEO EPM #293642530 à vendre en France
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KOBELCO/LEO EPM est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe utilisé dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Ce système fournit une solution d'inspection de bout en bout qui vérifie l'intégrité du masque et de la plaquette à chaque étape de la production, contribuant à réduire les pertes de rendement dues aux défauts. L'unité utilise l'imagerie haute résolution, l'évaluation photomasque et l'inspection automatisée pour obtenir des mesures rapides et précises de la géométrie et des défauts. Cela permet d'identifier rapidement les variations de device- à wafer, permettant une adaptation rapide du processus de production et une amélioration de la qualité du produit. La machine peut également détecter des défauts lors de l'exposition du photomasque et lors de la gravure des plaquettes. L'outil intègre une variété de technologies innovantes telles qu'un laser avancé et des actifs d'imagerie de particules chargées. Ce modèle augmente la précision et la résolution des inspections de photomasques et de plaquettes jusqu'à 100 fois par rapport à la microscopie optique traditionnelle. L'équipement d'imagerie de particules chargées fournit également une précision supérieure dans l'identification et la localisation des défauts, permettant une détection plus rapide et plus économique. LEO EPM dispose également d'un système d'imagerie automatisé pour créer des images haute résolution de photomasques et de plaquettes. Cette unité effectue un traitement d'image pour comparer les images avec les données stockées, fournissant des résultats rapides et fiables. Il peut également produire divers types de données graphiques et de rapports écrits. Dans l'ensemble, la machine a été conçue pour fournir une approche complète et efficace pour l'inspection des masques et des plaquettes, contribuant à réduire les pertes de rendement dues aux produits défectueux. L'imagerie haute résolution et les processus automatisés de l'outil garantissent également une inspection plus rapide et plus précise, ce qui permet aux fabricants d'ajuster en temps opportun leurs processus de production. Avec KOBELCO EPM, les fabricants peuvent réduire les risques liés à leurs opérations de fabrication de semi-conducteurs et fournir des produits de meilleure qualité à leurs clients.
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