Occasion KOKUSAI VR-120A #9148334 à vendre en France
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KOKUSAI VR-120A est un équipement complet d'inspection de masques et de plaquettes multi-capteurs conçu pour la production de masques avancés monocouches ou multicouches et de structures structurées en plaquettes. Sa technologie de vision avancée et ses systèmes d'éclairage de pointe offrent une résolution et une inspection inégalées. Le système comprend un appareil photo numérique LED haute résolution, un capteur de faisceau infrarouge étroit à balayage rapide et une machine d'inspection des défauts entièrement automatisée. L'outil de caméra utilise un capteur d'image CCD (à couplage de charge) et fournit une résolution jusqu'à 8,5 μ m-pixels. Il offre une capture d'image jusqu'à 200 champs par seconde. Le capteur à faisceau infrarouge étroit fournit une résolution de sous-microns et peut inspecter jusqu'à 5 millions de motifs par seconde. Il comprend un actif de contrôle in situ pour l'inspection fiable des défauts. Le modèle offre une capacité complète de détection de motifs et de défauts. Les fonctions de reconnaissance des motifs comprennent la mesure des motifs, des largeurs de lignes, de l'épaisseur de la couche, de la surface, des hauteurs et des angles des marches, ainsi que des inspections des CD (dimensions critiques) et de la luminescence. Les fonctions de détection des défauts comprennent la zone interstitielle, la résistance aux résidus, les échantillons de ponts, les rayures, les contaminants, les défauts cristallins, la gravure des puces et le développement de résines photosensibles. L'équipement est capable d'inspecter l'ensemble du masque ou de la plaquette avec un champ optique de 10 cm x 10 cm. Il est doté d'un système de palier intégré et d'une unité de décalage automatique qui permet l'inspection rapide et précise des grandes zones de masque et de plaquette. La machine supporte le fonctionnement manuel, semi-automatique et entièrement automatisé et fournit des résultats en temps quasi réel. L'outil est conçu pour un fonctionnement fiable dans des environnements de production difficiles. Il est équipé d'un module CPU puissant, d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser, d'un port réseau et d'une extension de mémoire facultative, et d'un atout d'authentification multiple pour assurer un fonctionnement sécurisé. De plus, une technologie d'inspection par couture en option et une bibliothèque d'images de masques permettent de revoir avec précision les défauts. VR-120A modèle d'inspection des masques et des plaquettes fournit des résultats d'inspection fiables et précis dans les environnements de production. Ses fonctions complètes de détection des défauts et de reconnaissance des motifs le rendent idéal pour les procédés avancés de fabrication de masques et de plaquettes.
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