Occasion KOSAKA LAB RSP300-11 #293637186 à vendre en France

KOSAKA LAB RSP300-11
ID: 293637186
Taille de la plaquette: 12"
Roughness measurement system, 12".
KOSAKA LAB RSP300-11 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour détecter les défauts dans le processus de formation de motifs de la photolithographie et la disposition des données de conception. Il offre des solutions d'inspection pour un large éventail de processus, y compris FEOL (front-end-of-line), BEOL (back-end-of-line) et WLP (wafer-level packaging). Le système se compose de quatre composants principaux : une unité de projection photolithographique, une alimentation électrique, une caméra vidéo et un ordinateur. La machine de projection photolithographique est composée d'un laser multifaisceaux et d'un étage mobile X-Y-Z. Il est utilisé pour projeter le réticule lithographique sur la plaquette et pour inspecter le motif de couche de résine formé sur la surface de la plaquette. L'alimentation électrique alimente les commandes laser et étage. La caméra vidéo est une caméra numérique haute résolution qui prend des images de la plaquette. L'outil informatique est utilisé pour contrôler et analyser les données générées par l'actif. RSP300-11 utilise un algorithme avancé pour inspecter et analyser le motif formé sur la plaquette. Il est capable de détecter des défauts liés au processus qui ne sont pas détectables par inspection visuelle. Il peut également détecter des défauts flagrants dus à un désalignement des motifs lié au désalignement des photomasques et à des erreurs de gradation de la largeur des lignes. Le modèle peut être facilement configuré avec diverses options d'inspection telles que le Fichier de douche, Fichier Chor, Balayage Laser, Secteurs, etc. pour une détection de défauts plus ciblée. L'équipement comprend également une série de fonctions d'outils automatiques telles que le résumé des défauts, la cartographie des régions de défauts, l'analyse des pannes répétées et l'analyse statistique des défauts. KOSAKA LAB RSP300-11 est capable de stocker des données antérieures et de les utiliser pour la comparaison des résultats et la comparaison avec les spécifications du client. Le système permet également de supprimer les faux signaux relatifs dus au bruit de fond du motif en contrôlant leurs intensités. En résumé, RSP300-11 est un mask- et wafer unité d'inspection haute performance qui offre des fonctionnalités avancées pour détecter les défauts de configuration et comparer avec les spécifications du client avec un minimum d'effort de l'utilisateur. Son algorithme avancé, ses multiples options de configuration et ses fonctions d'outils automatiques permettent aux utilisateurs de détecter rapidement et efficacement les défauts liés aux processus et d'améliorer la stabilité des fenêtres de processus et le rendement des produits.
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