Occasion LEICA / VISTEC INS 3000 DUV #9000424 à vendre en France
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Vendu
ID: 9000424
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 2003
Defect inspection system, 4"-8"
Power console with emergency off switch
Signal tower
Intermediate tube with camera port
Microscope: 5x, 20x, 50x, 100x, 150x(1), 150x(2)
Operator console with trackball and joystick (ASCII keyboard underneath)
Observation tube with eyepieces
X-Y stage
Motorized beamsplitter
LCD monitor
Cassette port with tilting mechanism
Control electronics
Transport wheels
Contamination protection
Prealignment: Contact-free, ± 0.25° rotational < ± 50 micron in x and y
Macro defect control: Optional wobbler with illumination device
User interface: Windows NT based inspection
Interface: RS 232-SECS 1/2, Ethernet interface
DUV Function: Not setup
Does not include: Macro defect control, wobbler with illumination device
2003 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000 DUV est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes. Il a une zone d'imagerie de 13,44 x 13,44 microns qui est balayé avec un laser UV profond de 9 nm (DUV). Le système est capable de détecter des défauts aussi petits que le dixième de la longueur d'onde laser et fournit un débit de détection maximum de 2 plaquettes par heure. L'unité peut également inspecter des motifs à haute résolution en plusieurs couches jusqu'à 6 par 6nm de fonctionnalités. La machine d'inspection est conçue pour l'examen des défauts, l'édition, le classement des défauts et la détection des processus critiques pour les couches de masque à semi-conducteur. L'outil comprend une suite logicielle pour faciliter l'acquisition d'images, le traitement d'images et la détection de défauts. Le logiciel fournit des paramètres contrôlables par l'utilisateur pour l'identification et l'édition automatisées des défauts, ainsi que la prise en charge des inspections automatisées des masques et des inspections des plaquettes avec génération automatique de recettes. L'actif dispose d'un champ de vision jusqu'à 350165nm et peut utiliser son modèle de navigation haute résolution pour fournir un champ de vue de 2x la zone du champ laser. Il est équipé d'un logiciel d'imagerie avancé pour fournir le timing et la synchronisation pour l'acquisition, l'édition, le classement et la vue d'ensemble des défauts. L'équipement utilise également une puissance laser variable pour accélérer les opérations et réduire les faux positifs. Le système dispose d'un ensemble de fonctionnalités robuste pour s'assurer qu'il peut répondre à une grande variété d'exigences d'inspection. Ses optiques hautes performances permettent une détection précise des défauts et une caractérisation des caractéristiques jusqu'au niveau du nanomètre. Il est équipé d'une unité robuste de paramètres réglables pour l'examen automatique et manuel des défauts et la reconnaissance des fonctionnalités. La machine comprend également des algorithmes avancés de traitement d'image pour filtrer, améliorer et ajuster le contraste et la luminosité. Sa capacité de numérisation à plusieurs couches est idéale pour une inspection à plusieurs niveaux. Enfin, LEICA INS 3000 DUV est conçu avec une architecture stable, peu entretenue et économique pour un fonctionnement fiable. Ses multiples options d'interface graphique et sa conception d'outils sans risque d'échec offrent commodité et robustesse aux utilisateurs. Toutes ces caractéristiques et son équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes font de VISTEC INS 3000 DUV un excellent choix pour l'inspection des masques et plaquettes.
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