Occasion LEICA / VISTEC LDS 3000 #293628458 à vendre en France

LEICA / VISTEC LDS 3000
ID: 293628458
Defect inspection system.
LEICA/VISTEC LDS 3000 est un équipement automatisé d'inspection par masque laser et wafer conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Ce système utilise une technologie optique exclusive et des systèmes d'imagerie avancés pour réaliser l'inspection et la réparation sans défaut des photomasques et des plaquettes. Il comporte trois chemins optiques distincts, chacun conçu pour effectuer une tâche différente. Le premier chemin est utilisé pour inspecter les masques et les plaquettes à faible grossissement et est capable de détecter des défauts aussi petits qu'un micromètre. Le second chemin est optimisé pour l'inspection des défauts à fort grossissement et est capable de résoudre des défauts jusqu'à 0,2 micromètre. Le troisième chemin est optimisé pour une meilleure résolution des défauts à un grossissement extrêmement élevé et est capable de détecter des défauts aussi petits que 0,1 micromètre. LEICA LDS 3000 est capable d'identifier deux types de défauts : des nodules sur le masque et des particules sur la plaquette. Il peut détecter des défauts dus à l'alignement du dos, au désalignement des photomasques, à la contamination des particules et à des défauts optiques tels que des éléments manquants et des changements brusques de réflectance. Il peut également détecter des défauts causés par des éléments minces/épais, des éléments manquants, des erreurs d'obturation et un désalignement. L'unité intègre également des technologies d'inspection optique telles que l'imagerie spectrale, l'imagerie par polarisation et l'imagerie différentielle afin de maximiser les capacités de détection des défauts. VISTEC LDS 3000 est une machine entièrement automatisée, dotée d'un outil d'ouverture interchangeable et d'une interface utilisateur intuitive. Il peut être utilisé dans les modes d'inspection automatisés et manuels. Le mode d'inspection automatisé est optimal pour la production, tandis que le mode manuel est le mieux adapté pour identifier un petit sous-ensemble de défauts détaillés. LDS 3000 a la capacité de stocker des données masquées, permettant une analyse future des données et contribue à réduire le temps de production global. En outre, l'actif dispose d'un modèle d'alignement pour le masque et les plaquettes. Cela permet une mise en place rapide du temps et un suivi serré des masques et plaquettes pendant les opérations. LEICA/VISTEC LDS 3000 est conçu pour minimiser les coûts de production globaux, réduire le temps de commercialisation et maximiser le contrôle de qualité. Son temps de traitement rapide et ses capacités d'imagerie avancées en font l'un des systèmes d'inspection les plus avancés actuellement disponibles sur le marché. Cet équipement est idéal pour la production de dispositifs de haute performance avec un espace limité, car il permet une détection efficace et fiable des défauts de bas niveau dans les photomasques et les plaquettes.
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