Occasion LEICA / VISTEC MIS 200 #9250501 à vendre en France
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ID: 9250501
Taille de la plaquette: 8"
Inspection system, 8"
Handler and motor stage
No scope
No Hard Disk Drive (HDD).
LEICA/VISTEC MIS 200 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes, capable d'inspecter et de caractériser les masques et les plaquettes avec un degré élevé de précision, de vitesse et de cohérence. Il est beaucoup plus précis que les méthodes d'inspection classiques et permet une détection plus rapide des défauts. LEICA MIS 200 utilise un système optique confocal pour maximiser sa précision et sa précision. L'optique confocale est constituée d'un objectif à fente réglable et d'une lentille de collection à ouverture fixe. L'optique permet le passage d'un faisceau lumineux focalisé à travers le masque ou la plaquette, qui est ensuite balayé à l'aide de scanners galvanométriques et d'un bloc miroir monté sur 2 axes. Cela permet de focaliser le faisceau de lumière et de l'orienter avec précision sur les différentes caractéristiques du masque ou de la plaquette. Le principal avantage de VISTEC MIS 200 est sa capacité à localiser avec précision les défauts dans les plages micro et nano, avec une précision inférieure à 2nm. En outre, il peut identifier et mesurer les géométries et les caractéristiques locales, telles que les coins, les arêtes et les angles, avec un degré élevé de précision. En outre, il peut être utilisé pour mesurer le CD (CD), les longueurs de linéarité et d'autres paramètres avec un degré élevé de précision. De plus, le MIS 200 est équipé d'un algorithme d'imagerie haute vitesse et d'un photodétecteur très sensible, ce qui permet une efficacité de détection maximale. La machine peut détecter la topologie de surface non réfléchissante, comme les vides et les vides, et peut identifier les particules dans les zones faiblement réfléchissantes. SUMMARYLEICA/VISTEC MIS 200 est un outil d'inspection des masques et des plaquettes, capable d'inspecter et de caractériser les masques et les plaquettes avec un degré élevé de précision, de vitesse et de cohérence. Il utilise un atout optique confocal pour maximiser sa précision et sa précision et pour détecter diverses caractéristiques, telles que les coins, les bords et les angles, avec un degré élevé de précision. En outre, il peut détecter la topologie de surface non réfléchissante, comme les vides et les vides, et peut identifier les particules dans les zones faiblement réfléchissantes. Il est également capable de mesurer le CD (CD), les longueurs de linéarité et d'autres paramètres avec un haut degré de précision.
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