Occasion MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR #9169499 à vendre en France
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ID: 9169499
Taille de la plaquette: 8"-12"
SWIR Inspection system, 8"-12"
Defect detection review for SWIR
Fully automated
Single cassette 8” wafer loader
Unloader with 4 axis robot
Pre-aligner
Wafer cassette mapping
Under / Over OCR cameras
Objectives: 5x, 10x, 20x, 50x
Camera sensor in-GaAs: 900nm - 1700nm sensitivity
Inspection applications:
For in-process, post-process and failure analysis
Bonded wafer alignment
Die alignment (flip-chip or hybridization)
Subsurface defect visualization, detection, characterization
MEMS Device inspection and metrology
3D Stacking process development and control
Integrated CD / dimensional metrology functions
Features:
Extensive defect detection features and capability
Integrated dimensional metrology features
Sub micron-precision optical measurements
High-accuracy staging to 20 nm linear encoder resolution
Highest resolution: 900-1700 nm in GaAs digital camera in class
High-speed linear servo motor staging
50-500 Defects / measurement / second per field of view
Multiple wafer / die / part handling systems
Application-specific customization software
Semi standard S2/S8 compliant.
MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR est un système d'inspection de masques et de plaquettes qui offre une détection, une classification et une cartographie automatisées des défauts de haute précision pour toutes les couches incidentes d'un masque ou d'une plaquette. En utilisant des techniques non destructives du proche infrarouge (NIR), il est capable de détecter des défauts à un niveau de sous-longueur d'onde de 0,13 micron. La technologie intégrée NIR fonctionne en éclairant des échantillons avec une gamme de lumière NIR, qui est ensuite analysée par un dispositif spécialisé à couplage de charge (CCD) pour détecter et localiser les signatures de défaut. DDR-300 Le système NIR fournit un ensemble complet de capacités d'inspection des plaquettes, y compris la détection et la caractérisation automatisées des défauts des plaquettes, l'électromigration, l'intégration des processus et la mesure des CD. Il offre également une intégration logicielle complète avec la suite Focalpoint de MCBAIN, qui fournit des capacités d'inspection, d'intégration et de traitement d'image pour une imagerie à résolution plus fine. Outre la détection des défauts, MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR fournit également des capacités de métrologie complètes, telles que l'analyse de surface, la superposition, la correction BDQ (Bias Dependent Quantum-Leap), et plus encore. DDR-300 NIR offre des options de configuration flexibles, comme un étage multi-axes de précision, qui fournit le plus haut niveau de précision. Il est également livré avec une gamme d'options de détection et d'imagerie, y compris : pixel-pitch in-focus et off-focus détecteurs, multi-caméra options d'imagerie pour une couverture de défaut accrue, et les algorithmes logiciels de pointe. Il comprend également des étapes de balayage des zones et des lignes pour une couverture maximale des défauts. MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR offre également un fonctionnement convivial. Il intègre un tactile à membrane QWERTY, et un moniteur LCD couleur de 16 pouces offre une visibilité claire des analyses de défauts. La commodité de l'interface utilisateur réduit la fatigue de l'utilisateur, permettant aux utilisateurs d'identifier et de localiser facilement les défauts, même sur les zones difficiles d'accès de la surface. Dans l'ensemble, DDR-300 NIR est un système fiable qui dispose de techniques non destructives complètes et fiables pour identifier les défauts des plaquettes avec une résolution de 0,13 micron et une capacité complète de détection, de caractérisation et de cartographie des défauts. Il est idéal pour produire des produits de haute qualité et fiables qui répondent aux exigences des clients et aux normes de l'industrie.
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