Occasion MICROMETRIC IMS88M-AL #9256098 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9256098
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2005
Optical CD and overlay measurement system, 6"
Measurement process: Automatic from cassette to cassette
Does not include flat pre-aligner
3 Axis:
Motorized X, Y and Z
Robot autoloader and pre-aligner
Auto focus
Auto illumination
Pattern recognition and vision-based measurements
Measurement specifications:
Overlay patterns
Box-in-box
Multi-bar patterns
L-Patterns
Overlay measurement accuracy (TIS): <0.010 um
Overlay measurement repeatability (3σ): <0.010 um
Line width measurement accuracy: 0.010 Micron
Line width measurement repeatability (3σ): 0.006 Micron
Motorized X,Y positioning stage
X,Y Stage travel: 8" x 8"
X,Y Stage velocity: 200 mm/sec
X,Y Positioning accuracy (Per axis): 2.0 microns over full travel
X,Y-Positioning resolution: 0.01 micron
Z Stage travel: 0.1" (2.5 mm)
Z-Positioning resolution: 0.01 micron
Robotic wafer loader and pre-aligner: 4"-8" Wafers
Dual cassettes
Loader / Unloader
Industrial rack-mounted computer
CPU Pentium IV 2.4 GHz
Hard Disk Drive (HDD): 100 GB
CD-ROM Drive
Ethernet communication
VGA Display
Keyboard and mouse
Operating system: Windows 2000
Computer vision system
CCD Camera
Frame grabber board
Microscope optical system:
High precision line width measurement
Vertical illuminator
Parfocal objectives: 10x BF and 100x BF
Monocular photo-tube with CCTV adapter
Computer controlled Illumination system
With 125 quartz-halogen lamp and fiber bundle
Glass-scale linear encoders
Resolution: 0.01 micron
Point-to-point measurements:
Edge detection
Intersections
Center lines
Circle centers and centroids
Option:
X-Y Grid plate calibration
7" x 7" With 140 mm x 140 mm grid
Temperature controlled chamber
Temperature controlled range: ±0.25°C
2005 vintage.
Le masque MICROMETRIC IMS88M-AL and Wafer Inspection Equipment offre un système automatisé fiable pour détecter les défauts de marquage et/ou de plaquette. Cette unité est équipée d'un microscope optique à deux têtes avec une longue distance de travail, permettant l'observation de grands échantillons. Le microscope optique peut être adapté à différentes tailles d'image, permettant à l'utilisateur de tout inspecter, des petits substrats semi-conducteurs aux dispositifs optiques et photovoltaïques de plus grande taille. La machine comprend plusieurs autres composants et matériels qui peuvent aider dans l'inspection et l'analyse. Un moteur de focalisation automatisé permet un réglage précis et rapide de la plaquette étudiée. Le moteur dispose d'une résolution inférieure à deux microns, permettant un balayage précis de la plaquette. Une caméra numérique de capture d'image améliore encore la précision du processus d'inspection, avec une taille de pixel très faible et jusqu'à 28 images par seconde pour capturer tous les défauts. L'outil est en outre équipé d'un outil laser qui peut mesurer les caractéristiques jusqu'au niveau du nanomètre. Ceci est combiné avec un niveau de précision très élevé, ce qui fait l'atout idéal pour les projets qui nécessitent précision et précision. Le modèle comprend également une variété de logiciels qui améliorent encore le processus d'inspection. Cela inclut une variété de méthodes de traitement d'image telles que la reconnaissance optique de caractères (RCO), la reconnaissance de motifs, les méthodes statistiques et de nombreuses autres méthodes d'analyse d'image. Ceux-ci peuvent être utilisés pour identifier et classer rapidement les défauts, les zones de contamination ou d'autres caractéristiques d'intérêt. Le logiciel fournit également de puissantes capacités de visualisation et d'analyse des données pour évaluer l'état du masque ou de l'échantillon de plaquette. L'équipement est capable de générer une variété de produits utiles, y compris des images, des cartes d'inspection, des mesures et des résultats de détection. L'interface graphique permet également à l'utilisateur de configurer rapidement et facilement le système et de le programmer pour une variété de tâches. Cela rend l'unité idéale pour une inspection et une analyse rapides et faciles de divers types de matériaux. IMS88M-AL offre un moyen fiable et efficace de détecter les défauts de marque et/ou de plaquette avec un faible coût de propriété. Avec sa construction robuste, son matériel fiable et son logiciel d'accompagnement puissant, cette machine est idéale pour des tâches d'inspection et d'analyse rapides et précises.
Il n'y a pas encore de critiques