Occasion MICROMETRIC IMS88M-AL #9256098 à vendre en France

ID: 9256098
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2005
Optical CD and overlay measurement system, 6" Measurement process: Automatic from cassette to cassette Does not include flat pre-aligner 3 Axis: Motorized X, Y and Z Robot autoloader and pre-aligner Auto focus Auto illumination Pattern recognition and vision-based measurements Measurement specifications: Overlay patterns Box-in-box Multi-bar patterns L-Patterns Overlay measurement accuracy (TIS): <0.010 um Overlay measurement repeatability (3σ): <0.010 um Line width measurement accuracy: 0.010 Micron Line width measurement repeatability (3σ): 0.006 Micron Motorized X,Y positioning stage X,Y Stage travel: 8" x 8" X,Y Stage velocity: 200 mm/sec X,Y Positioning accuracy (Per axis): 2.0 microns over full travel X,Y-Positioning resolution: 0.01 micron Z Stage travel: 0.1" (2.5 mm) Z-Positioning resolution: 0.01 micron Robotic wafer loader and pre-aligner: 4"-8" Wafers Dual cassettes Loader / Unloader Industrial rack-mounted computer CPU Pentium IV 2.4 GHz Hard Disk Drive (HDD): 100 GB CD-ROM Drive Ethernet communication VGA Display Keyboard and mouse Operating system: Windows 2000 Computer vision system CCD Camera Frame grabber board Microscope optical system: High precision line width measurement Vertical illuminator Parfocal objectives: 10x BF and 100x BF Monocular photo-tube with CCTV adapter Computer controlled Illumination system With 125 quartz-halogen lamp and fiber bundle Glass-scale linear encoders Resolution: 0.01 micron Point-to-point measurements: Edge detection Intersections Center lines Circle centers and centroids Option: X-Y Grid plate calibration 7" x 7" With 140 mm x 140 mm grid Temperature controlled chamber Temperature controlled range: ±0.25°C 2005 vintage.
Le masque MICROMETRIC IMS88M-AL and Wafer Inspection Equipment offre un système automatisé fiable pour détecter les défauts de marquage et/ou de plaquette. Cette unité est équipée d'un microscope optique à deux têtes avec une longue distance de travail, permettant l'observation de grands échantillons. Le microscope optique peut être adapté à différentes tailles d'image, permettant à l'utilisateur de tout inspecter, des petits substrats semi-conducteurs aux dispositifs optiques et photovoltaïques de plus grande taille. La machine comprend plusieurs autres composants et matériels qui peuvent aider dans l'inspection et l'analyse. Un moteur de focalisation automatisé permet un réglage précis et rapide de la plaquette étudiée. Le moteur dispose d'une résolution inférieure à deux microns, permettant un balayage précis de la plaquette. Une caméra numérique de capture d'image améliore encore la précision du processus d'inspection, avec une taille de pixel très faible et jusqu'à 28 images par seconde pour capturer tous les défauts. L'outil est en outre équipé d'un outil laser qui peut mesurer les caractéristiques jusqu'au niveau du nanomètre. Ceci est combiné avec un niveau de précision très élevé, ce qui fait l'atout idéal pour les projets qui nécessitent précision et précision. Le modèle comprend également une variété de logiciels qui améliorent encore le processus d'inspection. Cela inclut une variété de méthodes de traitement d'image telles que la reconnaissance optique de caractères (RCO), la reconnaissance de motifs, les méthodes statistiques et de nombreuses autres méthodes d'analyse d'image. Ceux-ci peuvent être utilisés pour identifier et classer rapidement les défauts, les zones de contamination ou d'autres caractéristiques d'intérêt. Le logiciel fournit également de puissantes capacités de visualisation et d'analyse des données pour évaluer l'état du masque ou de l'échantillon de plaquette. L'équipement est capable de générer une variété de produits utiles, y compris des images, des cartes d'inspection, des mesures et des résultats de détection. L'interface graphique permet également à l'utilisateur de configurer rapidement et facilement le système et de le programmer pour une variété de tâches. Cela rend l'unité idéale pour une inspection et une analyse rapides et faciles de divers types de matériaux. IMS88M-AL offre un moyen fiable et efficace de détecter les défauts de marque et/ou de plaquette avec un faible coût de propriété. Avec sa construction robuste, son matériel fiable et son logiciel d'accompagnement puissant, cette machine est idéale pour des tâches d'inspection et d'analyse rapides et précises.
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