Occasion NANOMETRICS AFT 4000 #85006 à vendre en France
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ID: 85006
Film thickness and reflectivity system
Standard film types measured
Single layer films: Visible 500-50,000A; UV 25-500A
Double layer films: Visible Top Layer 100-30,000A; Bottom Layer 100-10,000A
Single layer thick films: Visible 4-75 microns
Reflectance: Visible 400-850nm
Oxide on poly: UV 150-10,000A
Oxide on metal: Visable 3,000-20,000A; UV 500-5,000 A.
NANOMETRICS AFT 4000 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour évaluer avec précision et rapidement les structures défectueuses des masques et les défauts des plaquettes avant d'exposer les plaquettes à des produits chimiques dangereux et après leur transformation. Ce système permet aux utilisateurs d'inspecter rapidement un masque ou une plaquette pour détecter les défauts et signaler les informations pour une enquête plus approfondie. L'AFT 4000 offre des performances inégalées et une grande précision dans la détection et la mesure des plus petits défauts de diélectrique. L'unité dispose de la technologie d'imagerie Quadra-Tech qui fournit une capacité d'imagerie rapide et haute résolution. Cela permet à NANOMETRICS AFT 4000 de générer des images supérieures de motifs de masques, de couches et de fonctionnalités 3D sur le masque ou la plaquette à inspecter. La machine est en outre équipée d'un outil d'analyse de caractéristiques couplé-etch unique qui peut détecter des structures fines en diélectrique et structures avec aussi peu que 2 à 6 lambda d'espacement entre eux. En outre, l'outil fournit également des outils d'analyse avancés, tels que la spectroscopie FTIR, qui permettent aux utilisateurs de mesurer les propriétés physiques et chimiques exactes d'un défaut. L'AFT 4000 est également équipé d'un outil optionnel d'analyse diagnostique qui permet aux utilisateurs de quantifier avec précision la gravité d'un écart. Cet outil aide ensuite les utilisateurs à décider si le défaut affectera la qualité du produit obtenu, ou s'il s'agit d'un faux positif qui peut être corrigé en toute sécurité dans le post-traitement. NANOMETRICS AFT 4000 est un outil extrêmement avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui est conçu pour fournir aux utilisateurs le plus haut niveau de précision et de vitesse en matière d'évaluation des défauts. Ses capacités d'imagerie et d'analyse avancées permettent aux utilisateurs de détecter et de mesurer facilement même les plus petits défauts de diélectrique, et son outil optionnel d'analyse des fonctions de diagnostic permet aux utilisateurs d'identifier et d'analyser avec précision les défauts avant de s'engager dans le post-traitement.
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